[实用新型]一种模块化旋转式空间原子层沉积系统

权利要求书

1.一种模块化旋转式空间原子层沉积系统，其特征在于，包括：

第一壳体，所述第一壳体是由多个相同的可拆卸相连的单元腔室组合而成的环形结构，每个所述单元腔室内均间隔设有多个隔断以将所述单元腔室分割成多个功能区域腔；

多段传动导轨，所述多段传动导轨上设有多个用于放置晶圆的托盘，多个所述托盘一一对应地与多个所述单元腔室相对应，多段所述传动导轨分别设置在所述第一壳体内的多个单元腔室中，当所述单元腔室组合成第一壳体时，所述多段传动导轨形成闭环，以使多个所述托盘在多个所述单元腔室内循环移动；

第二壳体，所述第二壳体与其中一个所述单元腔室相连通，所述第二壳体内设有用于将晶圆放置在托盘上的搬运机械臂；

气体进入管道，所述气体进入管道分别与多个所述单元腔室相连通，所述气体进入管道用于向至少部分所述功能区域腔送入相应气体。

2.根据权利要求1所述的模块化旋转式空间原子层沉积系统，其特征在于，所述传动导轨包括导轨本体和连接件，所述连接件的下端滑动设置在所述导轨本体内，所述连接件的上端连接于所述托盘，所述连接件上设有齿轮接口；

还包括驱动电机，所述驱动电机的电机轴上设有齿轮盘，所述齿轮盘与所述齿轮接口啮合配合。

3.根据权利要求2所述的模块化旋转式空间原子层沉积系统，其特征在于，所述连接件和所述导轨本体之间滚动连接有多个钢珠。

4.根据权利要求1所述的模块化旋转式空间原子层沉积系统，其特征在于，多个所述功能区域腔依次为第一反应气体腔、第一真空腔、第一惰性气体腔、第二反应气体腔、第二真空腔、第二惰性气体腔。

5.根据权利要求2所述的模块化旋转式空间原子层沉积系统，其特征在于，所述第二壳体包括用于存放晶圆的存放腔、用于放置所述搬运机械臂的搬运腔和与所述第一壳体的内腔相连通的操作腔，所述搬运腔位于所述存放腔和所述操作腔之间。

6.根据权利要求5所述的模块化旋转式空间原子层沉积系统，其特征在于，所述搬运腔、所述存放腔和所述操作腔可拆卸相连。

7.根据权利要求6所述的模块化旋转式空间原子层沉积系统，其特征在于，所述存放腔的下方设有用于放置电气控制柜的第一抽真空腔，所述操作腔的下方设有用于放置驱动电机的第二抽真空腔。

8.根据权利要求5所述的模块化旋转式空间原子层沉积系统，其特征在于，所述操作腔内设有升降杆，所述升降杆用于穿过所述托盘带动所述晶圆向上移动。

9.根据权利要求1所述的模块化旋转式空间原子层沉积系统，其特征在于，所述第一壳体包括上盖、底板和两个间隔设置的外壁层，所述上盖设置在两个所述外壁层的上方，所述底板设置在两个所述外壁层的下方。

10.根据权利要求9所述的模块化旋转式空间原子层沉积系统，其特征在于，所述上盖上间隔设有多个长条形进气口，所述底板上设有多个与所述单元腔室相连通的真空抽气口，所述气体进入管道通过多个所述长条形进气口与多个所述功能区域腔相连通。