[实用新型]一种二、三维表面粗糙度测量仪

说明书

本实用新型公开了一种二、三维表面粗糙度测量仪，包括工控机，所述工控机的输出端连接运动控制卡的输入端，运动控制卡的输出端分别连接横向电机和纵向电机的输入端，横向电机与纵向电机的输出端连接精密二维工作台的输入端，精密二维工作台的输出端连接纵横向光栅尺的输入端。本二、三维表面粗糙度测量仪，通过按照编程设定的移动轨迹，能够编选需要测量的工件区域范围，并获取测量区域的工件表面形貌数据，通过工控机计算出工件的三维表面粗糙度特征参数，从而测得出工件表面准确的粗糙度。

技术领域

本实用新型涉及测量仪技术领域，具体为一种二、三维表面粗糙度测量仪。

背景技术

为了解工件表面的粗糙程度，通常会使用仪器对其测量，但目前缺乏相应的测量仪器，导致无法准确的得到工件表面的粗糙程度，对后续工件的生产造成严重的影响。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种二、三维表面粗糙度测量仪，通过按照编程设定的移动轨迹，能够编选需要测量的工件区域范围，并获取测量区域的工件表面形貌数据，通过工控机计算出工件的三维表面粗糙度特征参数，从而测得出工件表面准确的粗糙度，可以解决现有技术中的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种二、三维表面粗糙度测量仪，包括工控机，所述工控机的输出端连接运动控制卡的输入端，运动控制卡的输出端分别连接横向电机和纵向电机的输入端，横向电机与纵向电机的输出端连接精密二维工作台的输入端，精密二维工作台的输出端连接纵横向光栅尺的输入端，纵横向光栅尺的输出端连接光栅信号处理电路的输入端，光栅信号处理电路的输出端连接工控机，精密二维工作台的旁侧设有电感位移传感器，电感位移传感器的输出端连接电感信号处理电路的输入端，电感信号处理电路的输出端连接AD转换电路的输入端，AD转换电路的输出端连接工控机的输入端。

优选的，所述电感信号处理电路由芯片U1组成，芯片U1的1脚、20脚串联电容C1与电容C2后接-/+15V电源，芯片U1的10脚连接串联电阻R1与电阻R2，芯片U1的11脚连接串联电感L1与电感L3，芯片U1的2脚连接电容C7后，分别与电阻R1、电感L1连接，芯片U1的16脚连接输出接口OUT。

优选的，所述芯片U1的4脚、5脚连接可调电阻R3，芯片U1的6脚、7脚连接电容C3，芯片U1的8脚、9脚连接电容C4。

优选的，所述芯片U1的12脚、13脚连接电容C6，芯片U1的14脚、15脚连接串联电容C5与可调电阻R6，芯片U1的18脚、19脚分别连接可调电阻R4与可调电阻R5后，接-15V电源。

优选的，所述芯片U1的型号为AD598。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果如下：

本二、三维表面粗糙度测量仪，工控机通过运动控制卡驱动横向电机和纵向电机，从而控制精密二维工作台移动，而精密二维工作台移动则会导致纵横向光栅尺移动产生信号，并传输给光栅信号处理电路，通过光栅信号处理电路将精密二维工作台的位移量获取后反馈给工控机，由工控机进行位移的补偿控制，实现闭环控制。

经由电感位移传感器接触工件的表面，精密二维工作台移动带动工件运动，工件表面的起伏使电感位移传感器的电感量发生变化，其变化量通过电感信号处理电路转化为电压变化量，并由AD转换电路对信号采样后，输入到工控机，经过数据处理后，将结果输出。

因此，本测量仪通过按照编程设定的移动轨迹，能够编选需要测量的工件区域范围，并获取测量区域的工件表面形貌数据，通过工控机计算出工件的三维表面粗糙度特征参数，从而测得出工件表面准确的粗糙度。

附图说明

图1为本实用新型的系统模块图；

图2为本实用新型的电感信号处理电路图。