[实用新型]一种半导体检测设备

权利要求书

1.一种半导体检测设备，其特征在于，至少包括：

腔室，包括盖板及底座，所述盖板设置在所述底座上，且连接所述底座；

对准装置，其设置在所述腔室内，连接所述腔室且位于所述底座上；

视觉机构，包括摄像装置及支撑装置，所述摄像装置设置在所述支撑装置上，所述视觉机构设置在所述腔室上，且位于所述对准装置的一侧。

2.根据权利要求1所述的半导体检测设备，其特征在于，所述盖板包括：

观察窗，其设置在所述盖板上；

至少两个工位槽，包括第一工位槽及第二工位槽，所述工位槽设置在观察窗的一侧。

3.根据权利要求1所述的半导体检测设备，其特征在于，所述底座包括一凹槽，所述对准装置设置在所述凹槽内。

4.根据权利要求1所述的半导体检测设备，其特征在于，所述对准装置包括：

光源机构；

光源装置，其设置在所述光源机构内；

匀光板，其设置在所述光源装置上。

5.根据权利要求4所述的半导体检测设备，其特征在于，所述光源机构包括：

第一腔板，包括密封圈；

第二腔板，其设置在所述匀光板上，且连接所述第一腔板。

6.根据权利要求4所述的半导体检测设备，其特征在于，所述光源装置包括灯带及圈槽，所述灯带设置在所述圈槽上。

7.根据权利要求5所述的半导体检测设备，其特征在于，所述密封圈包括第一密封圈及第二密封圈，所述第一密封圈的直径大于所述第二密封圈的直径。

8.根据权利要求1所述的半导体检测设备，其特征在于，所述摄像装置包括：

固定件，包括第一固定件及第二固定件；

光学元件，其设置在所述固定件上，且链接所述固定件；

光照圈，包括第一光照圈及第二光照圈，所述光照圈平行于所述光学元件，且位于所述光学元件的底部。

9.根据权利要求8所述的半导体检测设备，其特征在于，所述固定件包括开孔，所述开孔位于所述固定件的一端。

10.根据权利要求1所述的半导体检测设备，其特征在于，所述支撑装置包括：

支撑件，包括支撑底座及支撑顶座；

支撑杆，包括第一支撑杆，第二支撑杆及第三支撑杆，其设置在所述支撑件上，且位于所述支撑底座与所述支撑顶座之间；

定位杆，包括第一定位杆，第二定位杆及第三定位杆，所述定位杆临近设置在所述支撑杆的一侧。