[实用新型]一种三轴陀螺仪

权利要求书

1.一种三轴陀螺仪，其特征在于，其包括：

第一驱动框架，其能够沿X轴进行谐振运动；

第二驱动框架，其与第一驱动框架平行且间隔预定距离，其能够沿X轴进行与第一驱动框架反向的谐振运动；

连接于第一驱动框架和第二驱动框架之间的X/Y陀螺结构；

连接于第一驱动框架和第二驱动框架之间且位于所述X/Y陀螺结构一侧的Z陀螺结构；

其中，所述X/Y陀螺结构与所述Z陀螺结构相互独立，所述X/Y陀螺结构和Z陀螺结构均是由所述第一驱动框架和第二驱动框架共同驱动。

2.根据权利要求1所述的三轴陀螺仪，其特征在于，其还包括：

第一驱动框架锚点；

第一驱动框架支撑梁，其连接于第一驱动框架锚点和第一驱动框架之间；

第二驱动框架锚点；

第二驱动框架支撑梁，其连接于第二驱动框架锚点和第二驱动框架之间；

设置于第一驱动框架内的第一驱动电极和第一驱动反馈电极；

设置于第二驱动框架内的第二驱动电极和第二驱动反馈电极；

通过在第一驱动电极上施加驱动电压驱动第一驱动框架沿X轴进行谐振运动；

通过在第二驱动电极上施加驱动电压驱动第二驱动框架沿X轴进行与第一驱动框架反向的谐振运动。

3.根据权利要求2所述的三轴陀螺仪，其特征在于，

第一驱动电极、第一驱动反馈电极、第二驱动电极和第二驱动反馈电极固定设置于基底上，第一驱动框架通过第一驱动框架支撑梁与第一驱动框架锚点连接，第一驱动框架和第一驱动框架支撑梁悬置于所述基底上方，第二驱动框架通过第二驱动框架支撑梁与第二驱动框架锚点连接，第二驱动框架和第二驱动框架支撑梁悬置于所述基底上方。

4.根据权利要求1所述的三轴陀螺仪，其特征在于，所述X/Y陀螺结构包括：

第一X/Y驱动耦合梁和第二X/Y驱动耦合梁；

第一质量块、第二质量块、第三质量块和第四质量块，分别设置于所述X/Y陀螺结构的中心点A的上下左右四个位置，第一质量块与第三质量块和第四质量块相邻设置，第二质量块与第三质量块和第四质量块相邻设置，第一质量块通过第一X/Y驱动耦合梁与第一驱动框架相连，第二质量块通过第二X/Y驱动耦合梁与第二驱动框架相连；

四个转向梁锚点和四个转向梁，其中每个转向梁与对应的一个转向梁锚点相连，相邻的两个质量块通过对应的一个转向梁相连；

其中，在第一驱动框架沿X轴进行谐振运动，第二驱动框架沿X轴进行与第一驱动框架反向的谐振运动时，第一驱动框架通过第一X/Y驱动耦合梁带动第一质量块沿X轴进行谐振运动，第二驱动框架通过第二X/Y驱动耦合梁带动第二质量块沿X轴进行与第一质量块反向的谐振运动，第一质量块和第二质量块通过相应的转向梁进而带动第三质量块沿Y轴进行谐振运动，通过相应的转向梁进而带动第四质量块沿Y轴进行与第三质量块反向的谐振运动，

X轴和Y轴垂直并且定义了所述X/Y陀螺结构所在的平面，Z轴垂直于X轴和Y轴所定义的平面。

5.根据权利要求4所述的三轴陀螺仪，其特征在于，所述X/Y陀螺结构还包括：

位于所述X/Y陀螺结构的中心点A的X/Y中心耦合梁，

分别连接于对应的质量块内侧的四个连接梁，每个连接梁都连接至所述X/Y中心耦合梁。