[实用新型]转动机构及其真空镀膜机

权利要求书

1.一种真空镀膜机的转动机构，设于真空炉内的真空腔中，用于带动待镀膜件相对靶面运动，所述待镀膜件具有相邻设置的第一边和第二边，所述第一边的长度大于所述第二边的长度；所述转动机构包括驱动件、传动单元、主动自转单元以及从动自转单元，所述驱动件连接于所述传动单元；

其特征在于，所述主动自转单元包括第一转轴及第一椭圆形齿轮，所述从动自转单元包括第二转轴及第二椭圆形齿轮，所述第一转轴与所述传动单元配合，并在所述传动单元的带动下转动，所述第一椭圆形齿轮固定于所述第一转轴的一端并随所述第一转轴转动，所述第二椭圆形齿轮固定于所述第二转轴的一端且用于承载所述待镀膜件，所述第二椭圆形齿轮和所述第一椭圆形齿轮啮合，且与所述第二椭圆形齿轮位于同一平面，并且所述第二椭圆形齿轮的长轴垂直于所述第一椭圆形齿轮的短轴或者所述第二椭圆形齿轮的短轴垂直于所述第一椭圆形齿轮的长轴。

2.根据权利要求1所述的真空镀膜机的转动机构，其特征在于，所述第一椭圆形的短轴的长度与所述第一椭圆形的长轴的长度之比为1:(1.1-1.7)；

及/或，所述第二椭圆形的短轴的长度与所述第二椭圆形的长轴的长度之比为1:(1.1-1.7)。

3.根据权利要求1所述的真空镀膜机的转动机构，其特征在于，所述转动机构还包括转盘，所述主动自转单元还包括第一轴承以及第一轴承座，所述转盘设于所述传动单元的一侧，且所述传动单元能够相对所述转盘转动，所述第一轴承套设于所述第一转轴上，所述第一轴承座套设于所述第一轴承并承载所述第一轴承，且所述第一轴承座固定于所述转盘。

4.根据权利要求3所述的真空镀膜机的转动机构，其特征在于，所述传动单元包括第一圆形齿轮和第二圆形齿轮，所述第一圆形齿轮与所述驱动件连接，所述第二圆形齿轮固定于所述第一转轴靠近所述第一椭圆形齿轮的一端，且与所述第一圆形齿轮啮合。

5.根据权利要求4所述的真空镀膜机的转动机构，其特征在于，所述传动单元还包括转动件，所述第一圆形齿轮朝向所述转盘的一侧面上开设有安装槽，所述转动件安装于所述安装槽，且部分凸出所述第一圆形齿轮朝向所述转盘的一侧面，并抵靠于所述转盘。

6.根据权利要求4所述的真空镀膜机的转动机构，其特征在于，所述转动机构还包括底板，锁紧件以及绝缘单元，所述第一圆形齿轮通过所述锁紧件安装于所述底板上，所述绝缘单元套设于所述锁紧件，并将所述底板与所述第一圆形齿轮之间阻隔且绝缘。

7.根据权利要求6所述的真空镀膜机的转动机构，其特征在于，所述绝缘单元包括绝缘座、绝缘套以及绝缘帽，所述第一圆形齿轮上开设有贯穿的安装孔，所述绝缘座设于所述第一圆形齿轮和所述底板之间，所述绝缘套安装于所述安装孔内，所述锁紧件的一端从所述安装孔穿出并穿设所述绝缘座，且连接于所述底板，所述绝缘帽盖设于所述第一圆形齿轮靠近所述转盘的一侧面上并将所述安装孔封堵。

8.根据权利要求7所述的真空镀膜机的转动机构，其特征在于，所述绝缘套的一端具有第一沉槽，另一端具有凸台，所述锁紧件的一端具有头部，所述头部在所述锁紧件与所述底板连接后，收容于所述第一沉槽内；

所述绝缘座靠近所述第一圆形齿轮的一端具有第二沉槽，所述凸台从所述安装孔伸出并嵌入所述第二沉槽内。

9.根据权利要求3所述的真空镀膜机的转动机构，其特征在于，所述从动自转单元包括第二轴承及第二轴承座，所述第二轴承套设于所述第二转轴上，所述第二轴承座套设于所述第二轴承并承载所述第二轴承。

10.一种真空镀膜机，用于对待镀膜件进行镀膜，其特征在于，包括如权利要求1-9任意项所述转动机构，所述待镀膜件安装于所述转动机构，并在所述转动机构的带动下自转或者及/或相对靶面作公运动。