[实用新型]半导体物料转移机构有效
申请号: | 202121142506.8 | 申请日: | 2021-05-26 |
公开(公告)号: | CN215220677U | 公开(公告)日: | 2021-12-17 |
发明(设计)人: | 林宜龙;刘飞;滕健;林清岚 | 申请(专利权)人: | 深圳格兰达智能装备股份有限公司 |
主分类号: | H01L21/677 | 分类号: | H01L21/677 |
代理公司: | 广州三环专利商标代理有限公司 44202 | 代理人: | 邹俊;黄华莲 |
地址: | 518118 广东省深圳市坪*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 半导体 物料 转移 机构 | ||
本实用新型涉及物料检测设备的技术领域,提供了一种半导体物料转移机构包括:架体,具有物品升降通道、物品推料通道,以及物品送料通道;其中,所述物品升降通道、所述物品推料通道,以及所述物品送料通道依次连通;所述物品推料通道的一端与所述物品升降通道交汇形成第一交汇区,所述物品推料通道的另一端与所述物品升降通道交汇形成第二交汇区;升降机构,用于驱动预定物品沿物品升降通道移动;推料机构,用于驱动预定物品沿物品推料通道移动;送料机构,用于驱动预定物品沿物品送料通道移动。用户可以将预定物品放入不同高度的物品升降通道内后,预定物品可以依次通过物品升降通道、物品推料通道,以及物品送料通道进行转移。
技术领域
本实用新型属于物料检测设备的技术领域,更具体地说,是涉及一种半导体物料转移机构。
背景技术
在现代生产中,经常需要对预定物品(预定物品:比如芯片)进行检测(检测:比如视觉检测),检测过程中经常需要将预定物品进行转移,转移的方式通是人工搬运检测,效率低下。
实用新型内容
本实用新型的目的在于提供一种半导体物料转移机构,以解决现有技术中存在的物品转移效率低下的技术问题。
为实现上述目的,本实用新型采用的技术方案是:提供一种半导体物料转移机构包括:
架体,具有物品升降通道、物品推料通道,以及物品送料通道;其中,所述物品升降通道、所述物品推料通道,以及所述物品送料通道依次连通;所述物品推料通道的一端与所述物品升降通道交汇形成第一交汇区,所述物品推料通道的另一端与所述物品升降通道交汇形成第二交汇区;
升降机构,用于驱动预定物品沿物品升降通道移动;
推料机构,用于驱动预定物品沿物品推料通道移动;
送料机构,用于驱动预定物品沿物品送料通道移动。
进一步地,所述升降机构包括:设置在所述架体上的第一底座、设置在所述第一底座上并沿竖直方向延伸的第一滑轨、滑设在所述第一滑轨上并用于支撑所述预定物品的升降台,以及用于驱动所述升降台滑动的第一驱动器;所述第一滑轨与所述物品升降通道平行设置。
进一步地,所述升降台包括:滑设在所述第一滑轨上的第一夹持部、第二夹持部,以及用于驱动所述第二夹持部靠近或远离所述第一夹持部的第一气缸;所述第一夹持部和所述第二夹持部之间形成供预定物品放入的第一空间。
进一步地,所述第一底座上设置有用于检测所述预定物品放入所述第一空间内的传感器;所述传感器与所述第一气缸电性连接。
进一步地,所述推料机构包括:设置在所述架体上的第二底座、滑设在所述第二底座上的推杆,以及用于驱动所述推杆沿所述物品推料通道移动的第二驱动器。
进一步地,所述第二驱动器包括:设置在所述第二底座上的第二滑轨、第一环形传动带、用于驱动所述第一环形传动带循环移动的第一电机,以及滑设在所述第二滑轨上并连接在所述第一环形传动带上的第一滑块;所述第二滑轨与所述物品推料通道平行设置,所述推杆设置在所述第一滑块上。
进一步地,所述送料机构包括:设置在所述架体上的第三底座、设置在所述第三底座上并用于夹持所述预定物品的夹持器,以及用于驱动所述夹持器沿所述物品送料通道移动的第三驱动器。
进一步地,所述夹持器包括:第三夹持部、第四夹持部,以及用于驱动所述第四夹持部靠近或远离所述第三夹持部的第二气缸;所述第三夹持部和所述第四夹持部之间形成供预定物品放入的第二空间。
进一步地,所述第三驱动器包括:设置在所述第三底座上的第三滑轨、第二环形传动带、用于驱动所述第二环形传动带循环移动的第二电机,以及滑设在所述第三滑轨上并连接在所述第二环形传动带上的第二滑块;所述第三滑轨与所述物品送料通道平行设置;所述第三夹持部和所述第四夹持部分别设置在所述第二滑块上。
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H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
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