[实用新型]一种用于晶圆抛光的旋转夹具

权利要求书

1.一种用于晶圆抛光的旋转夹具，包括：下转盘（10）和上转盘（20），上转盘（20）同轴设于下转盘（10）上方，其特征在于，下转盘（10）和上转盘（20）安装于同一框架（30），框架（30）呈环形结构，上转盘（20）的底面与下转盘（10）的顶面相对设置，下转盘（10）的底部设有第一电机（40），第一电机（40）安装于框架（30）底部，框架（30）顶部设有第二电机（50），第二电机（50）的转轴设有延长杆（60），延长杆（60）朝向下转盘（10）设置，延长杆（60）的截面为多边形，上转盘（20）顶部同轴设有连接管（21），连接管（21）与延长杆（60）同轴设置，连接管（21）滑动套设于延长杆（60）外侧，连接管（21）外周转动设有推动盘（70），推动盘（70）沿连接管（21）的轴线方向移动。

2.根据权利要求1所述的一种用于晶圆抛光的旋转夹具，其特征在于，延长杆（60）的截面为矩形，连接管（21）同轴加工有矩形孔，利用矩形孔与延长杆（60）进行滑动配合，从而带动上转盘（20）旋转。

3.根据权利要求1所述的一种用于晶圆抛光的旋转夹具，其特征在于，推动盘（70）与连接管（21）之间设有轴承（80），轴承（80）内圈安装于连接管（21）顶端的外周，轴承（80）的外圈安装于推动盘（70）的底部，连接管（21）的顶面设有多颗螺钉（22），利用螺钉（22）的头部将轴承（80）的内圈卡住，为防止轴承（80）滑出推动盘（70），推动盘（70）底部设有多颗螺钉（22），用螺钉（22）的头部将轴承（80）的外圈卡住。

4.根据权利要求1所述的一种用于晶圆抛光的旋转夹具，其特征在于，框架（30）顶部设有一对气缸（90），气缸（90）的推杆与延长杆（60）平行，气缸（90）的推杆与推动盘（70）相连，气缸（90）对称设于延长杆（60）两侧。

5.根据权利要求1所述的一种用于晶圆抛光的旋转夹具，其特征在于，推动盘（70）设有一对导杆（71），导杆（71）与延长杆（60）平行，导杆（71）滑动穿过框架（30）的顶部。

6.根据权利要求1所述的一种用于晶圆抛光的旋转夹具，其特征在于，框架（30）为整体的矩形环状结构。

7.根据权利要求1所述的一种用于晶圆抛光的旋转夹具，其特征在于，延长杆（60）上段与框架（30）之间设有一个推力轴承（1）以及一个球轴承（2）。