[实用新型]一种单晶炉用中轴护盘

说明书

本实用新型公开了一种单晶炉用中轴护盘，其为一底部开口的盘状结构，包括环形的护盘侧壁、顶部用于承托石墨锅底的护盘顶座；通过底部的开口扣合在中轴盘上，护盘侧壁包合于中轴盘外壁上；所述护盘顶座的中心处，设有与上部石墨锅底适配的安装沉孔；所述的护盘侧壁的底部向外延伸，形成环形导流盘。该中轴护盘采用环形侧壁结合凸台及沉孔设计，保证匹配安装稳定性实现对中轴的无死角防护。采用外延式导流设计，避免硅液沿中轴进入下轴，损坏设备。该单晶炉用中轴护盘安装便捷，使用时只需将该部件放置于石墨埚底与中轴盘之间即可。一旦发生漏硅硅液沿埚底流经护盘不会对中轴盘及中轴造成损伤，可避免热场部件损失降低事故损失。

技术领域

本实用新型涉及一种单晶炉用中轴护盘，属于单晶硅制备领域。

背景技术

随着单晶行业的发展，大热场大投料量已成为行业的发展趋势。单晶炉中轴作为单晶热场的重要部件之一，主要用于支撑埚底、埚帮以及石英坩埚，随着热场尺寸的不断增大，中轴上部的部件的尺寸也在增大，重量也随之增加，因此中轴的安全性对于热场拉晶时的安全稳定运行至关重要。为保证拉晶安全，提高热场稳定性，亟需设计一种单晶炉用中轴护盘，有效提高中轴的使用安全性同时在降低热场功率，减少事故损失。

实用新型内容

实用新型目的：本实用新型所要解决的技术问题是针对现有技术的不足，提供一种单晶炉用中轴护盘，有效提高中轴的使用安全性同时在降低热场功率，减少事故损失。

为了实现上述目的，本实用新型采取的技术方案如下：

一种单晶炉用中轴护盘，其为一底部开口的盘状结构，包括环形的护盘侧壁、顶部用于承托石墨锅底的护盘顶座；该中轴护盘通过底部的开口扣合在中轴盘上，护盘侧壁包合于中轴盘外壁上；所述护盘顶座的中心处，设有与上部石墨锅底适配的安装沉孔；所述的护盘侧壁的底部向外延伸，形成环形导流盘。

进一步地，所述护盘顶座的底部位于安装沉孔下方设有向护盘内部凸出的固定凸台，所述固定凸台与下方的中轴盘顶部设置的对应沉孔卡合固定。

进一步地，所述安装沉孔的底部，固定凸台背面形成的凹陷采用颗粒状石英砂进行填充。

进一步地，所述护盘顶座位于中心安装沉孔的外围，嵌有一圈环形的石墨保温毡。

优选地，所述的环形导流盘厚度自上而下逐渐增大，且截面为直角梯形。

优选地，所述的护盘侧壁、护盘顶座以及环形导流盘采用碳碳材料一体成型。

有益效果：

本实用新型单晶炉用中轴护盘采用环形侧壁结合凸台及沉孔设计，保证匹配安装稳定性实现对中轴的无死角防护。采用外延式导流设计，避免硅液沿中轴进入下轴，损坏设备。碳碳材料、石墨软毡以及石英砂的引入减缓热量向下轴的传导减少热量损失降低热场功耗。该单晶炉用中轴护盘安装便捷，使用时只需将该部件放置于石墨埚底与中轴盘之间即可。一旦发生漏硅硅液沿埚底流经护盘不会对中轴盘及中轴造成损伤，可避免热场部件损失降低事故损失。

附图说明

下面结合附图和具体实施方式对本实用新型做更进一步的具体说明，本实用新型的上述和/或其他方面的优点将会变得更加清楚。

图1是该单晶炉用中轴护盘的结构示意图。

图2是该单晶炉用中轴护盘的使用状态图。

其中，各附图标记分别代表：10中轴护盘；11护盘侧壁；12护盘顶座；13安装沉孔；14环形导流盘；15固定凸台；16颗粒状石英砂；17石墨保温毡；20石墨锅底；30中轴盘；40中轴。

具体实施方式

根据下述实施例，可以更好地理解本实用新型。