[实用新型]一种罗茨螺杆复合真空泵

说明书

本实用新型提供一种罗茨螺杆复合真空泵，其设有泵体，泵体的内部设有前置内腔体和复合转子内腔体，复合转子内腔体中设有一对互相啮合的复合转子，复合转子相邻固定设有螺杆泵转子，螺杆泵转子上设有螺杆泵转子叶轮，螺杆泵转子相邻固定设有罗茨泵转子，罗茨泵转子圆周方向设有罗茨泵转子叶片，罗茨泵转子叶片之间设有罗茨泵转子啮合曲面。其解决了罗茨转子和螺杆转子的旋转啮合不稳定，真空泵的可靠性低，工作寿命短的技术问题。本实用新型可广泛应用于半导体行业工艺室的真空处理和显示器设备工艺室的真空处理中。

技术领域

本实用新型涉及一种真空泵，特别是涉及一种罗茨螺杆复合真空泵。

背景技术

现代工业的发展对于真空泵的需求越来越高，尤其是随着半导体行业和显示器制作行业的发展，对于工艺室的真空化处理的要求更高。

现有的真空泵大部分体积较大，轴向尺寸长，在抽真空的过程中由于环节较多，导致能耗较高，长期使用达不到节能的要求；有些真空泵采用罗茨转子和螺杆转子复合转子结构，但罗茨转子和螺杆转子在圆周方向的定位大多采取键槽的固定形式，无法满足在圆周方向的精准定位，导致真空泵的装配精度不高，长期运转时罗茨转子和螺杆转子之间存在旋转应力，罗茨转子和螺杆转子的旋转啮合不稳定，真空泵的可靠性低，工作寿命短。

实用新型内容

本实用新型针对现有的真空泵大部分体积较大，轴向尺寸长，在抽真空的过程中由于环节较多，导致能耗较高，长期使用达不到节能的要求，有些真空泵采用罗茨转子和螺杆转子复合转子结构，但罗茨转子和螺杆转子在圆周方向的定位大多采取键槽的固定形式，无法满足在圆周方向的精准定位，导致真空泵的装配精度不高，长期运转时罗茨转子和螺杆转子之间存在旋转应力，罗茨转子和螺杆转子的旋转啮合不稳定，真空泵的可靠性低，工作寿命短的技术问题，提供一种罗茨螺杆复合真空泵，该真空泵在轴向的尺寸较短，罗茨转子和螺杆转子的工作部分能够无缝连通，工作效率高，长期工作功耗较低，同时罗茨转子和螺杆转子在圆周方向的定位准确，在装配时能够方便调节罗茨部分在轴向的定位，使其能够适应螺杆转子的啮合，这样在工作时，罗茨转子和螺杆转子不存在应力干扰，整体的真空泵的罗茨转子和螺杆转子运转平稳，这样就提高了真空泵的运转可靠性，大大提高了真空泵的寿命。

为此，本实用新型的技术方案是，一种罗茨螺杆复合真空泵，设有泵体，泵体一侧设有前端盖，前端盖的外侧固定设有电机，泵体另一侧设有后端盖，后端盖和泵体之间设有端面密封圈，后端盖的外侧固定设有后盖板；

泵体的内部一侧设有前置内腔体，泵体的内部另一侧设有复合转子内腔体，前置内腔体和复合转子内腔体之间设有泵体支撑隔板，复合转子内腔体中设有一对互相啮合的复合转子，复合转子的一端贯穿通过泵体支撑隔板进入到前置内腔体中，复合转子的另一端贯穿通过后端盖；

复合转子包括复合转子轴，复合转子轴相邻固定设有螺杆泵转子，螺杆泵转子与复合转子轴为一体结构，螺杆泵转子上设有螺杆泵转子叶轮，螺杆泵转子相邻固定设有罗茨泵转子，罗茨泵转子圆周方向均布固定设有三个罗茨泵转子叶片，每相邻两个罗茨泵转子叶片之间设有罗茨泵转子啮合曲面，罗茨泵转子与复合转子轴为可拆卸连接；一对螺杆泵转子通过螺杆泵转子叶轮相互啮合连接，相互啮合连接的螺杆泵转子叶轮之间形成气体流量通道，一对罗茨泵转子通过罗茨泵转子啮合曲面相互啮合连接；

其中一个复合转子的复合转子轴与电机的输出端连接，前置内腔体中设有一对互相啮合的同步齿轮，同步齿轮分别固定在复合转子轴上；复合转子轴的一端固定设有轴承，轴承的外圈固定在泵体支撑隔板的内部，复合转子轴的另一端也设有轴承，轴承位于后端盖的内部；

泵体的上表面外侧设有吸入口，吸入口与复合转子内腔体连通，吸入口的位置与罗茨泵转子相对应，泵体的下表面外侧设有排出口，排出口位于靠近螺杆泵转子一侧，排出口与复合转子内腔体连通；