[实用新型]一种二维材料制备装置

权利要求书

1.一种二维材料制备装置，其特征在于，包括石英管，所述石英管第一端和第二端设有开口分别用于进气和出气；固定加热装置，所述固定加热装置设于所述石英管上下两端，所述固定加热装置用来固定并加热所述石英管；石墨工件，所述石墨工件直径小于石英管管径并设于石英管底部，所述石墨工件中部设有贯通扁槽，贯通扁槽内用于放置二维材料生长衬底；排气机构，所述排气机构设于所述石英管第二端开口处，用于石英管内减压排气；控制机构，控制第一流速条件和第一温度条件，使得石墨工件贯通扁槽内流场和温场相比石墨工件外在空间分布上更为均匀，从而在石墨工件贯通扁槽内获得大面积且均匀生长的二维材料，所述二维材料包括层状过渡金属硫族化合物和二维非层状材料。

2.如权利要求1所述的二维材料制备装置，其特征在于，所述贯通扁槽的剖面为长方形，宽度高度比为5：1～20：1。

3.如权利要求1所述的二维材料制备装置，其特征在于，所述石墨工件的直径为1.5cm～7cm。

4.如权利要求1所述的二维材料制备装置，其特征在于，所述石英管的管径为2.54cm～11cm。

5.如权利要求1所述的二维材料制备装置，其特征在于，所述石墨工件位于石英管中部，所述石墨工件的长度为0.4m～0.5m。

6.如权利要求1所述的二维材料制备装置，其特征在于，所述石英管第一端气流入口到第二端气流出口的长度为0.8m～2m。

7.如权利要求1所述的二维材料制备装置，其特征在于，所述石墨工件为圆柱体或椭圆体。

8.如权利要求1所述的二维材料制备装置，其特征在于，所述贯通扁槽的高度为0.3cm～2cm。

9.如权利要求1所述的二维材料制备装置，其特征在于，所述二维材料制备装置为真空管式炉。