[实用新型]一种镀膜支撑装置有效
申请号: | 202121188220.3 | 申请日: | 2021-05-28 |
公开(公告)号: | CN215560635U | 公开(公告)日: | 2022-01-18 |
发明(设计)人: | 王文静;符欣;周肃;龚道仁;徐晓华 | 申请(专利权)人: | 安徽华晟新能源科技有限公司 |
主分类号: | C23C14/50 | 分类号: | C23C14/50;C23C16/458;H01L31/18 |
代理公司: | 北京三聚阳光知识产权代理有限公司 11250 | 代理人: | 王锴 |
地址: | 242074 安徽省宣城市宣城经*** | 国省代码: | 安徽;34 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 镀膜 支撑 装置 | ||
1.一种镀膜支撑装置,其特征在于,包括:
载板,所述载板具有贯穿所述载板的开口;
支架,所述支架包括:支架本体,所述支架本体中具有贯穿所述支架的镂空口,所述镂空口中适于放置待镀膜器件,待镀膜器件包括划片区;遮撑条,所述遮撑条与所述支架本体的侧壁固定连接且位于所述镂空口中,所述遮撑条适于支撑待镀膜器件且适于与所述划片区接触;
所述支架适于嵌入所述开口中,所述支架本体的侧壁适于与所述开口的侧壁相对设置。
2.根据权利要求1所述的镀膜支撑装置,其特征在于,所述支架本体包括环状的第一延伸部、环状的第二延伸部以及环状的中间支架部;所述中间支架部位于所述第一延伸部和所述第二延伸部之间,且所述中间支架部的顶端与所述第一延伸部连接,所述中间支架部的底端和所述第二延伸部连接,所述第一延伸部的内径大于所述第二延伸部的内径;所述遮撑条的两端与所述第二延伸部的侧壁固定连接;
所述第二延伸部和所述中间支架部适于嵌入所述开口中,且所述第一延伸部适于位于所述开口侧部的部分所述载板的表面上。
3.根据权利要求2所述的镀膜支撑装置,其特征在于,所述中间支架部包围的镂空口的宽度为100mm~250mm,所述中间支架部包围的镂空口的长度为100mm~250mm;
所述第二延伸部的宽度为90mm~240mm;所述第二延伸部的长度为90mm~240mm。
4.根据权利要求2所述的镀膜支撑装置,其特征在于,所述第二延伸部包括相对设置且平行的第一子延伸部和第二子延伸部、以及相对设置且平行的第三子延伸部和第四子延伸部,所述第一子延伸部的长度方向垂直于所述第三子延伸部的长度方向;
所述遮撑条的两端分别与所述第一子延伸部和所述第二子延伸部的侧壁固定连接,或者,所述遮撑条的两端分别与所述第三子延伸部和所述第四子延伸部的侧壁固定连接。
5.根据权利要求2所述的镀膜支撑装置,其特征在于,所述遮撑条的顶面与所述第二延伸部的顶面高度相同。
6.根据权利要求1所述的镀膜支撑装置,其特征在于,所述遮撑条的厚度为0.4mm~3mm;所述遮撑条的宽度为0.8mm~2mm;所述遮撑条的长度为100mm~250mm;
所述遮撑条包括不锈钢遮撑条、碳纤维遮撑条、铝遮撑条、钛合金遮撑条或者石墨遮撑条。
7.根据权利要求1所述的镀膜支撑装置,其特征在于,所述支架中的所述遮撑条的数量为若干个,若干个所述遮撑条间隔分布,若干个所述遮撑条的排布方向平行于所述遮撑条的支撑面。
8.一种镀膜支撑装置,其特征在于,包括:
载板,所述载板具有贯穿所述载板的开口,所述开口中适于放置待镀膜器件,待镀膜器件包括划片区;
遮撑条,所述遮撑条位于所述开口中且所述遮撑条的两端与所述载板的侧壁固定连接,所述遮撑条适于支撑待镀膜器件且适于与所述划片区接触。
9.根据权利要求8所述的镀膜支撑装置,其特征在于,所述遮撑条的厚度为0.4mm~3mm;所述遮撑条的宽度为0.8mm~2mm;所述遮撑条的长度为100mm~250mm。
10.根据权利要求8所述的镀膜支撑装置,其特征在于,所述遮撑条包括不锈钢遮撑条、碳纤维遮撑条、铝遮撑条、钛合金遮撑条或者石墨遮撑条。
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