[实用新型]双光束蚀刻大幅面导电薄膜的激光加工装置

权利要求书

1.双光束蚀刻大幅面导电薄膜的激光加工装置，其特征在于：包括间隔并列平行设置的第一光束系统和第二光束系统，所述第一光束系统沿光路传输方向依次包含：第一激光器(10)，产生激光脉冲；第一扩束镜(11)，用于光束扩大和滤波；第一上反射镜(12)，用于改变光束方向；第一下反射镜(13)，用于改变光束方向；第一振镜扫描系统(14)，用于控制光束偏转；第一聚焦场镜(15)，用于光束聚焦；所述第一激光器(10)、第一扩束镜(11)和第一上反射镜(12)安装于X轴运动单元(31)上，所述第一下反射镜(13)、第一振镜扫描系统(14)和第一聚焦场镜(15)安装于Z轴运动单元(33)上，Z轴运动单元(33)连接于X轴运动单元(31)上；

所述第二光束系统沿光路传输方向依次包含：第二激光器(20)，产生激光脉冲；第二扩束镜(21)，用于光束扩大和滤波；第二上反射镜(22)，用于改变光束方向；第二下反射镜(23)，用于改变光束方向；第二振镜扫描系统(24)，用于控制光束偏转；第二聚焦场镜(25)，用于光束聚焦；所述第二激光器(20)、第二扩束镜(21)和第二上反射镜(22)安装于X轴运动单元(31)上，所述第二下反射镜(23)、第二振镜扫描系统(24)和第二聚焦场镜(25)安装于Z轴运动单元(33)上；

第一聚焦场镜(15)和第二聚焦场镜(25)正对于吸附平台(50)上的加工工件导电薄膜(40)，吸附平台(50)置于Y轴运动单元(32)上。

2.根据权利要求1所述的双光束蚀刻大幅面导电薄膜的激光加工装置，其特征在于：第一振镜扫描系统(14)一侧设有用于工件主对位观察的左视觉定位系统，第二振镜扫描系统(24)一侧设有用于工件副对位观察的右视觉定位系统。

3.根据权利要求2所述的双光束蚀刻大幅面导电薄膜的激光加工装置，其特征在于：所述左视觉定位系统安装于Z轴运动单元(33)上，位于第一振镜扫描系统(14)左侧，右视觉定位系统安装于Z轴运动单元(33)上，位于第二振镜扫描系统(24)右侧。

4.根据权利要求2所述的双光束蚀刻大幅面导电薄膜的激光加工装置，其特征在于：所述左视觉定位系统和右视觉定位系统连接至控制系统，控制系统与第一激光器(10)、第二激光器(20)、第一振镜扫描系统(14)、第二振镜扫描系统(24)、X轴运动单元(31)、Z轴运动单元(33)以及Y轴运动单元(32)控制连接。

5.根据权利要求2所述的双光束蚀刻大幅面导电薄膜的激光加工装置，其特征在于：所述左视觉定位系统和右视觉定位系统均包含CCD相机、影像镜头、照明点光源、UV紫外光源，影像镜头安装于Z轴运动单元(33)上，正对于吸附平台(50)上的加工工件导电薄膜(40)，影像镜头上方安装CCD相机，侧方安装照明点光源，下方安装UV紫外光源。

6.根据权利要求1所述的双光束蚀刻大幅面导电薄膜的激光加工装置，其特征在于：所述第一激光器(10)和第二激光器(20)均为1064nm纳秒红外光纤激光器。

7.根据权利要求1所述的双光束蚀刻大幅面导电薄膜的激光加工装置，其特征在于：加工工件导电薄膜(40)与第一聚焦场镜(15)和第二聚焦场镜(25)之间安装有用于收集加工过程中粉尘和废气的集尘系统。