[实用新型]一种载板清洁装置

说明书

本实用新型涉及一种载板清洁装置，它包括容置清洁部件且左右侧壁设有载板进出口的机壳、设于机壳内腔中部的滚刷组件以及设于机壳内腔下部且与滚刷组件配合的吸尘组件。本实用新型的目的在于提供一种载板清洁装置，整机结构简洁，有效清洁载板，并防止粉尘颗粒飞散而污染环境。

技术领域

本实用新型涉及一种载板清洁装置。

背景技术

在制备高效异质结太阳能电池时，PVD(Physical Vapor Deposition，物理气相沉积)工序是非常关键的步骤之一。经过化学气相沉积的硅片放置在载板上，载板作为硅片承载传送托盘，输送硅片进入真空腔室进行物理气相沉积。在此过程中，载板也会和硅片一样在表面形成镀膜，随着使用次数增多，膜层越来越厚。载板在传动滚轮上传送过程中，因传送振动或载板与传动滚轮之间的摩擦，会产生掉粉现象，将影响到硅片镀膜质量。

发明内容

本实用新型的目的在于提供一种载板清洁装置，整机结构简洁，有效清洁载板，并防止粉尘颗粒飞散而污染环境。

本实用新型的目的通过如下技术方案实现：

一种载板清洁装置，它包括容置清洁部件且左右侧壁设有载板进出口的机壳、设于机壳内腔中部的滚刷组件以及设于机壳内腔下部且与滚刷组件配合的吸尘组件。

较之现有技术而言，本实用新型的优点在于：

(1)整机结构简洁，有效清洁载板，并防止粉尘颗粒飞散而污染环境。

(2)风刀组件的出风口可调，便于根据需要调整风口对准载板的角度，及时吹落经滚刷刷动已剥离载板的薄膜颗粒。

(3)采用密闭机壳结构，防止粉尘颗粒扩散而污染环境。

(4)滚刷上下设置在载板上下两面，且与载板运动方向相反，更好的去除载板上下两面粘附的薄膜颗粒。

(5)吸尘罩对准滚刷组件刷扫部位，及时收集粉尘颗粒，特别是吸尘罩设于下方，能有效收集大颗粒，提高除尘效果。

附图说明

图1是本实用新型一种载板清洁装置的实施例的结构简图。

图2是图1的剖视结构截图。

图3是图1的另一视角的剖视结构截图。

图4是图1所示结构的应用状态示意图。

标号说明：载板清洁装置1、机架11、支撑架111、轴承座一112、轴承座二113、轴承114、密封罩12、滚刷电机13、联轴器14、上滚刷15、下滚刷16、齿轮17、吸尘罩18、吸尘接口181、喇叭形槽182、槽孔183、吸尘槽184、吸尘管185、风刀组件19、输送机架2、腔室机架3、载板回流输送装置4。

具体实施方式

下面结合说明书附图和实施例对本实用新型内容进行详细说明：

如图1至图4所示为本实用新型提供的一种载板清洁装置的实施例示意图。

一种载板清洁装置，它包括容置清洁部件且左右侧壁设有载板进出口的机壳、设于机壳内腔中部的滚刷组件以及设于机壳内腔下部且与滚刷组件配合的吸尘组件。

它还包括设于滚刷组件左侧中上部的风刀组件19，所述风刀组件的出风口方向可调节。

所述机壳包括左右侧壁设有载板进出口的密封罩12以及由密封罩12进行遮罩的机架11。

所述滚刷组件包括上下间隔布置且与载板相接触的两个以上滚刷以及驱动滚刷转动的滚刷驱动单元；所述滚刷转动方向与载板输送方向相对。

所述滚刷驱动单元包括设于机壳外的滚刷电机13以及设于机壳内且在滚刷与滚刷电机13之间进行传动连接的滚刷传动结构。