[实用新型]真空镀膜用蒸发舟及其压型模具

说明书

提供一种真空镀膜用蒸发舟及其压型模具，包括一体成型的舟皿本体；舟皿本体包括内腔为四棱锥形状的蒸发槽；蒸发槽槽沿长度方向对称侧分别制有向槽沿宽度方向凹陷的轴对称的内凹弧面；内凹弧面内凹顶点处设有外凸弧尖；蒸发槽槽体长度方向对称外侧分别制有水平延伸板；水平延伸板板体中心制有定位通孔。本实用新型结构简单，成型方便，能有效防止液面拱起，镀液铺展面积大，节省镀液用量，舟体固定可靠，无溅液偏斜以及镀层质量不均问题的出现。

技术领域

本实用新型属于化学冶金蒸镀镀覆用工模具技术领域，具体涉及一种真空镀膜用蒸发舟及其压型模具。

背景技术

蒸镀镀覆用的蒸发舟需要有高熔点，导电性能好，抗热及抗腐蚀的特性。蒸镀镀覆用蒸发舟被广泛应用于冶金，电子、宇航、半导体、电光源和化工等行业。在真空镀膜过程中，需要很高温度才会使金属原料从固体状态蒸发汽化。真空镀膜用的蒸发舟，是将蒸发舟安装在两个电极中间，在蒸发舟的中央加上蒸发源材料，缓缓给电极通电，电流通过蒸发舟，舟体通电发热，使高熔点的蒸发舟产生热量，再热传导给镀膜发热材料，当蒸发舟的热量高于镀膜发热材料熔点的时候，材料就蒸发，完成气相沉积镀覆操作。此方法操作方便，结构简单，成本低廉。但是，现有的蒸发舟结构大多为方形蒸发槽，槽中熔化的金属原料用量大，且其熔融态的蒸发源液面经常具有拱起弧面，影响真空镀膜的镀覆材料厚度；不仅如此，蒸发舟由于缺少定位结构，一旦偏斜，容易引起镀液溅洒或降低镀覆质量。对此，现提出如下改进技术方案。

发明内容

本实用新型解决的技术问题：提供一种真空镀膜用蒸发舟及其压型模具，采用内凹弧面内凹顶点处设有的外凸弧尖解决镀液液面拱起问题；采用制有内凹弧面的四棱锥形状的蒸发槽解决蒸发液用量大的技术问题；采用水平延伸板制有定位通孔的结构，解决蒸发液溅射问题和蒸发舟偏斜定位不牢问题。

本实用新型采用的技术方案：真空镀膜用蒸发舟，包括一体成型的舟皿本体；其特征在于：舟皿本体包括内腔为四棱锥形状的蒸发槽；蒸发槽槽沿长度方向对称侧分别制有向槽沿宽度方向凹陷的轴对称的内凹弧面；内凹弧面内凹顶点处设有外凸弧尖；蒸发槽槽体长度方向对称外侧分别制有水平延伸板；水平延伸板板体中心制有定位通孔。

上述技术方案中，进一步地：舟皿本体为钨舟或钼舟。

上述技术方案中，进一步地：蒸发槽棱锥过渡处圆角过渡。

还包括一种真空镀膜用蒸发舟的压型模具，压型模具由凸模和凹模组成；凸模和凹模分别具有凸凹适配的蒸发槽成型部和水平延伸板成型部；蒸发槽成型部槽体长度方向制有向槽体宽度方向凹陷轴对称的内凹弧度；内凹弧度内凹顶点处制有外凸弧度。

本实用新型与现有技术相比的优点：

1、本实用新型蒸发槽内凹弧面顶点处设有的外凸弧尖，有效解决了镀液中间液面的拱起问题，保证蒸镀镀层厚度均匀一致，产品质量稳定可靠。

2、本实用新型制有内凹弧面的四棱锥形状的蒸发槽，较立方体蒸发槽节省蒸发液用量，同时可增大镀液蒸发层的铺展面积；加之蒸发槽棱锥过渡处圆角过渡，无镀液聚集问题，蒸发舟圆弧过渡处表面光滑，蒸发舟可重复使用无质量后患。

3、本实用新型水平延伸板制有定位通孔结构，水平延展板通过插接适配绝缘导杆进行位置的限定，防止蒸发舟倾斜问题的出现，解决蒸发液意外溅射问题和蒸发舟偏斜定位不牢问题。

附图说明

图1为本实用新型蒸发舟正面立体图。

图2为本实用新型蒸发舟背面立体图。

图3为本实用新型蒸发舟图1的A-A剖视图。

图4为真空镀膜用蒸发舟压型模具的凸模立体图。

图5为真空镀膜用蒸发舟压型模具的凹模立体图。