[实用新型]一种软板显影用棉毡拖网过滤装置

说明书

本实用新型公开了一种软板显影用棉毡拖网过滤装置，包括安装架，所述安装架外表面下部四角处均固定连接有底脚，所述安装架前内壁中部和后内壁中部共同固定连接有竖杆，所述安装架外表面下中部固定连接有横杆，所述安装架外表面活动安装有过滤组件，所述过滤组件位于竖杆和横杆的上方。本实用新型所述的一种软板显影用棉毡拖网过滤装置，通过设置过滤组件，将棉毡拖网放在安装环内，然后通过螺栓和螺母将其进行固定，通过螺栓可以方便棉毡拖网的拆装，且方便清理棉毡拖网，简单实用，通过棉毡拖网可以有效的提高了显影精度，防止碎膜粘到软板板面上，显影机设二级过滤，棉毡拖网设在显影喷淋下面，使用时棉毡在上、粗网在下。

技术领域

本实用新型涉及软板显影技术领域，特别涉及一种软板显影用棉毡拖网过滤装置。

背景技术

显影是在正性光刻胶的曝光区和负性光刻胶的非曝光区的光刻胶在显影液中溶解，在光刻胶上形成三维图形的一种光刻技术，显影是在硅片表面光刻胶中产生图形的关键步骤，光刻胶上的可溶解区域被化学显影剂溶解，将可见的岛或者窗口图形留在硅片表面，最常见的显影方法是旋转、喷雾、浸润，然后显影，硅片用去离子水冲洗后甩干，但目前对于软板显影存在以下问题：1、在软板显影加工过程中，显影精度较不高，会有碎膜粘到板面上，从而严重影响软板的显影效果；2、目前市场上存在的一些过滤装置的安装都较为复杂，且安装效果较差，不易拆装，从而不方便进行清理，影响后期的使用，故此，我们提出一种软板显影用棉毡拖网过滤装置。

实用新型内容

本实用新型的主要目的在于提供一种软板显影用棉毡拖网过滤装置，可以有效解决背景技术中的问题。

为实现上述目的，本实用新型采取的技术方案为：

一种软板显影用棉毡拖网过滤装置，包括安装架，所述安装架外表面下部四角处均固定连接有底脚，所述安装架前内壁中部和后内壁中部共同固定连接有竖杆，所述安装架外表面下中部固定连接有横杆，所述安装架外表面活动安装有过滤组件，所述过滤组件位于竖杆和横杆的上方。

优选的，所述过滤组件包括安装环，所述安装环上端后部和下端后部均开有上下穿通的一号螺纹孔，两个所述一号螺纹孔内共同螺纹连接有螺栓，所述螺栓外表面下部螺纹连接有螺母，所述安装环的内壁面与安装架的外表面活动连接。

优选的，所述过滤组件包括棉毡拖网，所述棉毡拖网上端前部和上端后部均开有四个上下穿通的二号螺纹孔。

优选的，八个所述二号螺纹孔呈前后两两对称分布，所述棉毡拖网位于安装环内，所述棉毡拖网位于竖杆和横杆的上方。

优选的，所述螺栓的外表面与二号螺纹孔的内壁面螺纹连接，所述螺母位于安装环的下方。

优选的，所述棉毡拖网设在显影喷淋下面，使用时棉毡在上、粗网在下。

与现有技术相比，本实用新型具有如下有益效果：

1、本实用新型中，通过设置过滤组件，通过棉毡拖网可以有效的提高了显影精度，防止碎膜粘到软板板面上，显影机设二级过滤，棉毡拖网设在显影喷淋下面，使用时棉毡在上、粗网在下；

2、通过设置安装环，将棉毡拖网放在安装环内，并且使得二号螺纹孔与一号螺纹孔对称，然后将螺栓螺纹连接在一号螺纹孔和二号螺纹孔内，螺母螺纹连接在螺栓的外表面下部，从而将棉毡拖网固定安装在安装环内，通过螺栓可以方便棉毡拖网的拆装，且方便清理棉毡拖网，简单实用。

附图说明

图1为本实用新型一种软板显影用棉毡拖网过滤装置的整体结构示意图；

图2为本实用新型一种软板显影用棉毡拖网过滤装置的部分结构示意图；

图3为本实用新型一种软板显影用棉毡拖网过滤装置的过滤组件的部分结构示意图；

图4为本实用新型一种软板显影用棉毡拖网过滤装置的过滤组件的部分结构示意图。