[实用新型]一种用于质谱仪的真空进样装置

说明书

本实用新型公开了一种用于质谱仪的真空进样装置，包括样品靶、靶板、进样舱、舱门和样品靶移动平台，所述舱门包括盖门和卡凸，所述卡凸设置在盖门下表面的中间位置，所述进样舱包括盖槽和卡槽，所述盖门刚好卡在盖槽内，所述卡凸刚好卡在卡槽内，所述卡槽的一侧侧壁上设有一排气孔，所述盖门一侧边通过转动件安装在盖槽的侧边，所述靶板处在卡槽的底部，所述样品靶放置在靶板内，所述样品靶移动平台能够推动靶板在进样舱下方和离子源之间来回移动。本实用新型将盖门和卡凸分别与盖槽和卡槽配合，在抽真空负压下，有效防止舱门移动或晃动，而且在抽真空时，真空度越高，舱门密封性越好，并有快速、高效的将样品靶在进样舱和离子源之间来回移动。

技术领域

本实用新型涉及质谱仪配件技术领域，尤其涉及一种用于质谱仪的真空进样装置。

背景技术

飞行时间质谱仪中，进样结构需要密封性好，进样方便，换样简单，才能更有利于质谱仪的操作。然而，在进样舱位置需要密封性好，还要能够承受高真空负压下，舱盖不会漏气，还要能盖合和打开换样方便。并且样品靶能够在真空腔内移动，在进样舱和离子源之间移动方便，以提高换靶和进靶的操作。

实用新型内容

本实用新型旨在至少在一定程度上解决相关技术中的技术问题之一。为此，本实用新型的一个目的在于提出一种用于质谱仪的真空进样装置，解决了进靶和换靶不方便，进样舱密封性差的问题。

根据本实用新型提出的一种用于质谱仪的真空进样装置，包括样品靶、靶板、进样舱、舱门和样品靶移动平台，所述舱门包括盖门和卡凸，所述卡凸设置在盖门下表面的中间位置，所述进样舱包括盖槽和卡槽，所述盖门刚好卡在盖槽内，所述卡凸刚好卡在卡槽内，所述卡槽的一侧侧壁上设有一排气孔，所述盖门一侧边通过转动件安装在盖槽的侧边，所述靶板处在卡槽的底部，所述样品靶放置在靶板内，所述样品靶移动平台能够推动靶板在进样舱下方和离子源之间来回移动。

在本实用新型的一些实施例中，所述盖槽底部上沿着卡槽的槽口一周设有内嵌的橡胶垫，所述橡胶垫高出盖槽的槽底。

在本实用新型的另一些实施例中，所述盖槽的底部设有吸铁磁缺口，所述吸铁磁缺口内设有磁铁。

在本实用新型的另一些实施例中，所述样品靶移动平台包括左搭台、右搭台和推拉气缸，所述左搭台设置在离子源左侧并延伸到卡槽下面，所述右搭台设置在离子源的右侧，所述推拉气缸的气缸轴固定在靶板的一侧。

在本实用新型的另一些实施例中，所述离子源包括靶电极和引出电极，所述靶电极在引出电极的下方，所述引出电极包括脉冲电极和接地电极，所述脉冲电极在接地电极的下方。

本实用新型中，利用盖槽和卡槽形成一体槽体，而盖门和卡凸分别与盖槽和卡槽配合，在抽真空负压下，有效防止舱门移动或晃动，而且在抽真空时，真空度越高，舱门密封性越好，并有快速、高效的将样品靶在进样舱和离子源之间来回移动。

附图说明

附图用来提供对本实用新型的进一步理解，并且构成说明书的一部分，与本实用新型的实施例一起用于解释本实用新型，并不构成对本实用新型的限制。在附图中：

图1为本实用新型提出的一种用于质谱仪的真空进样装置的结构示意图。

图2为本实用新型提出的一种用于质谱仪的真空进样装置的剖面示意图(换靶或点靶)。

图3为本实用新型提出的一种用于质谱仪的真空进样装置的剖面示意图(进靶)。

图中：1、盖门；11、转动件；2、卡凸；3、盖槽；31、橡胶垫；4、卡槽； 41、气孔；5、磁铁；6、靶板；61、左搭台；62、右搭台；7、样品靶；8、靶电极；9、引出电极；10、推拉气缸。

具体实施方式