[实用新型]一种多坩埚晶体生长炉

权利要求书

1.一种多坩埚晶体生长炉，它包含箱体(1)和支脚(2)，箱体(1)底部固定有支脚(2)；其特征在于：它还包含加热管(3)、齿轮箱(4)、旋转电机(5)、主动转杆(6)、从动转杆(7)、主动齿轮(8)、从动齿轮(9)、固定罩(10)、导热固定管(11)、电动阀门(12)、气泵(13)、导气管(14)、坩埚(16)和隔热块(17)，箱体(1)的内腔顶部中间位置及内腔周壁上均固定有加热管(3)，箱体(1)上固定有齿轮箱(4)，齿轮箱(4)上利用固定架固定有旋转电机(5)，旋转电机(5)的输出轴利用联轴器与主动转杆(6)的一端固定，主动转杆(6)的另一端穿过齿轮箱(4)和箱体(1)后，伸设在箱体(1)内，从动转杆(7)的一端利用轴承插设在齿轮箱(4)顶部，从动转杆(7)的另一端穿过齿轮箱(4)和箱体(1)后，伸设在箱体(1)内，主动转杆(6)上套设固定有主动齿轮(8)，从动转杆(7)上套设固定有从动齿轮(9)，主动齿轮(8)与相邻的从动齿轮(9)相互啮合，相邻的从动齿轮(9)相互啮合，位于箱体(1)内的主动转杆(6)和从动转杆(7)上均套设固定有固定罩(10)，固定罩(10)上固定有导热固定管(11)，导热固定管(11)上的开口内设置有电动阀门(12)，齿轮箱(4)上固定有气泵(13)，气泵(13)的输出端上贯穿连接有导气管(14)，导气管(14)与齿轮箱(4)贯穿设置，位于齿轮箱(4)内的主动转杆(6)和从动转杆(7)上均开设有导气口(15)，导热固定管(11)内活动设置有坩埚(16)，坩埚(16)的下端穿过箱体(1)后，固定有隔热块(17)，加热管(3)、旋转电机(5)、电动阀门(12)和气泵(13)均外接电源。

2.根据权利要求1所述的一种多坩埚晶体生长炉，其特征在于：隔热块(17)上固定有把手(18)。

3.根据权利要求1所述的一种多坩埚晶体生长炉，其特征在于：支脚(2)底部固定有橡胶防滑脚垫(19)。

4.根据权利要求1所述的一种多坩埚晶体生长炉，其特征在于：导热固定管(11)上开设有活动卡槽(20)，坩埚(16)上开设有活动槽(21)，活动槽(21)内左右对应活动设置有卡块(22)，卡块(22)活动设置在活动卡槽(20)内，左右对应的卡块(22)之间设置有弹簧(23)。