[实用新型]一种水蒸气标准气发生装置

权利要求书

1.一种水蒸气标准气发生装置，其特征在于，包括水蒸气标气发生器、标气配置器、乙烯气发生器和气相色谱仪；

所述水蒸气标气发生器包括外筒、内筒、氮气导入管、标气导出管和温度计，所述内筒置于外筒内，外筒和内筒内部均装有冰水混合物，所述氮气导入管和标气导出管均置于外筒内，氮气导入管的顶端与第一氮气标气源连接，氮气导入管的底端延伸至内筒底部，所述标气导出管的顶端设置在所述内筒的顶部，标气导出管的底端与标气配置器连接，所述温度计置于所述内筒内；

所述标气配置器分别与所述标气导出管和第二氮气标气源连接，标气配置器用于混合所述标气导出管输出的气体和第二氮气标气源输出的气体，所述标气配置器设置混合气体出口；

所述乙烯气发生器内装有碳化钙颗粒，乙烯气发生器的进气端与所述标气配置器的混合气体出口连接，乙烯气发生器的出气端与气相色谱仪连接。

2.根据权利要求1所述的水蒸气标准气发生装置，其特征在于：所述氮气导入管的底端设置扩散头，所述扩散头置于所述内筒的内底部。

3.根据权利要求1所述的水蒸气标准气发生装置，其特征在于：所述氮气导入管的顶端与第一氮气标气源连接的管路上设置第一流量计。

4.根据权利要求1所述的水蒸气标准气发生装置，其特征在于：所述标气配置器包括第二流量计、第三流量计和混合气罐，所述标气导出管通过第二流量计与所述混合气罐连接，所述第二氮气标气源通过第三流量计与所述混合气罐连接，所述混合气罐的上部设置所述混合气体出口。

5.根据权利要求4所述的水蒸气标准气发生装置，其特征在于：所述乙烯气发生器呈U型状，乙烯气发生器的进气端和出气端分别位于U型状的左右两侧。

6.根据权利要求5所述的水蒸气标准气发生装置，其特征在于：所述乙烯气发生器的进气端与所述混合气罐的混合气体出口连接的管路上设置三通阀。

7.根据权利要求6所述的水蒸气标准气发生装置，其特征在于：还包括第一露点仪，所述第一露点仪通过所述三通阀与所述混合气罐连接。

8.根据权利要求4所述的水蒸气标准气发生装置，其特征在于：还包括第二露点仪，所述第二露点仪和第三流量计通过三通阀与所述第二氮气标气源连接。

9.根据权利要求5所述的水蒸气标准气发生装置，其特征在于：所述乙烯气发生器的出气端设置玻璃棉。

10.根据权利要求1～9任何一项所述的水蒸气标准气发生装置，其特征在于：所述内筒底部与外筒之间不接触。