[实用新型]一种密封性好的真空镀膜机

说明书

本实用新型涉及密封装置技术领域，且公开了一种密封性好的真空镀膜机，包括底座，所述底座顶部固定安装有箱体，所述箱体内壁底部固定安装有能量源。该密封性好的真空镀膜机，抽气管和补气管外侧均固定安装有密封轴承，实现了密封性好的目的，通过启动电动推杆，电动推杆带动右侧齿条板上下移动，当右侧齿条板上移时，带动右侧连接块上移，使得右侧推杆也上移，右侧齿条板带动齿轮旋转，使得左侧齿条板下移，带动左侧连接块和左侧推杆下移，此时吸尘器的吸尘方向向右，当右侧齿条板下移时，同理，右侧推杆下移，左侧推杆上移，此时吸尘器的吸尘方向向左，扩大了吸尘的方向，即实现了大范围除尘的目的。

技术领域

本实用新型涉及密封装置技术领域，具体为一种密封性好的真空镀膜机。

背景技术

真空镀膜机主要指一类需要在较高真空度下进行的镀膜，主要思路可分成蒸发和溅射两种，蒸发镀膜是靶材进行加热处理，使其表面组分以原子团或离子形式被蒸发出来，并且沉降在基片表面，通过成膜过程形成薄膜，溅射类镀膜则是利用电子或高能激光轰击靶材，并使表面组分以原子团或离子形式被溅射出来，并且最终沉积在基片表面，经历成膜过程形成薄膜。

现有的真空镀膜机由于充气管道与外界是连通的，这样就会将空气中的灰尘带入镀膜机内部，使得灰尘吸附在内部装置上，影响镀膜品质，故而提出一种密封性好的真空镀膜机来解决上述所提出的问题。

实用新型内容

（一）解决的技术问题

针对现有技术的不足，本实用新型提供了一种密封性好的真空镀膜机，具备大范围除尘等优点，解决了现有的真空镀膜机由于充气管道与外界是连通的，这样就会将空气中的灰尘带入镀膜机内部，使得灰尘吸附在内部装置上，影响镀膜品质的问题。

（二）技术方案

为实现上述大范围除尘的目的，本实用新型提供如下技术方案：一种密封性好的真空镀膜机，包括底座，所述底座顶部固定安装有箱体，所述箱体内壁底部固定安装有能量源，所述箱体内壁底部且位于能量源左右两侧均固定安装有膜蒸发系统，所述箱体内壁左右两侧均固定安装有加热器，所述底座顶部且位于箱体左侧固定安装有抽气泵，所述抽气泵的输出端固定安装有一端延伸至箱体内部的抽气管，所述底座顶部且位于箱体右侧固定安装有补气泵，所述补气泵的输出端固定安装有一端延伸至箱体内部的补气管，所述补气泵的输入端固定安装有进气管，所述箱体内壁顶部开设有空腔，所述空腔内壁底部固定安装有支撑杆，所述支撑杆前侧活动安装有齿轮，所述空腔内壁顶部固定安装有电动推杆，所述空腔内壁后侧且位于齿轮左右两侧均活动安装有与齿轮啮合的齿条板，右侧所述齿条板顶部与电动推杆的输出端固定连接，两个所述齿条板相背一侧均固定安装有连接块，所述空腔内壁底部固定安装有一端贯穿连接块的限位杆，所述限位杆顶部固定安装有限位块，所述连接块底部固定安装有一端与空腔内壁底部固定连接且套在限位杆外侧的弹簧，所述箱体内壁顶部固定安装有安装块，所述安装块底部铰接有安装板，所述连接块底部固定安装有一端延伸至箱体内部并与安装板活动连接的推杆，所述安装板底部固定安装有吸尘器。

优选的，所述抽气管和补气管外侧均固定安装有一端与箱体贴合的密封轴承。

优选的，所述箱体内部为中空设计，箱体内壁左侧开设有与抽气管相适配的通孔，箱体内壁右侧开设有与补气管相适配的穿孔。

优选的，所述支撑杆前侧活动安装有转轴，齿轮通过转轴与支撑杆活动连接。

优选的，所述箱体内壁顶部开设有与空腔连通的连接孔，连接孔与推杆相适配。

优选的，所述安装板内部开设有矩形通孔，矩形通孔内活动安装有一端与推杆前侧固定连接的连接滑块。

（三）有益效果

与现有技术相比，本实用新型提供了一种密封性好的真空镀膜机，具备以下有益效果：