[实用新型]一种石墨舟清洗装置

说明书

一种石墨舟清洗装置，属于清洁设备技术领域。包括箱体，内部形成清洗腔，箱体的一端设置适于石墨舟通过的开口，且开口处设置可开合的盖体；输送带，设置在清洗腔内，用于承托石墨舟，并带动石墨舟沿远离或朝向开口的方向移动；驱动部，位于清洗腔外部，驱动部用于驱动输送带移动。本实用新型设置输送带带动石墨舟沿远离或朝向开口的方向移动，以带动从开口处送至清洗腔内的石墨舟沿远离开口的方向移动，并在清洗后顺序带动石墨舟沿朝向开口的方向移动，从而替代通过人工移动石墨舟的方式，提升了石墨舟的移动效率，进而提升了清洗效率。

技术领域

本实用新型涉及清洁设备技术领域，具体涉及一种石墨舟清洗装置。

背景技术

太阳能电池生产过程中利用管式PECVD在硅片上镀减反射膜，石墨舟作为镀减反射膜时的一种载体，用于承载固定硅片。在生产过程中，石墨舟的表面会沉积氮化硅，氮化硅且随着使用次数的增加而累积，进而会对硅片的镀膜均匀性造成影响，因此石墨舟需要定期进行清洗，以减少硅片不良品的产生。

现有技术中采用容置有清洗液的清洗腔对石墨舟进行清洗，但是由于在清洗过程中，清洗液会挥发产生酸性气体，因此清洗腔需要采用封闭的腔室，在其顶部的端面设置用于取放石墨舟的开口，并在开口处设置可开合的盖体，在清洗时，盖体关闭，以避免清洗液挥发产生的酸性气体由开口处排出，进而对工作人员的身体健康及环境造成影响，但是现有的清洗腔由于自身结构的限制，导致其开口大小仅能够对一个石墨舟进行取放，而内部能够同时容置多个石墨舟进行清洗，因此在将石墨舟放入清洗腔的过程中，需要将一个石墨舟从开口处放入，然后人工通过工具推动该石墨舟向远离开口处的清洗腔内部移动，以便于放入下一石墨舟，同理的，在取出石墨舟时，也具有人工通过工具拽动清洗腔内部的石墨舟移动至开口处的操作过程，这种通过人工移动石墨舟的方式效率较低，进而降低了对石墨舟的清洗效率。

实用新型内容

因此，本实用新型要解决的技术问题在于克服现有技术中的清洗腔在对石墨舟进行清洗时，需要人工移动石墨舟，使其朝向远离或朝向开口处的方向移动，导致移动效率较低，进而降低石墨舟清洗效率的缺陷，从而提供一种石墨舟清洗装置。

本实用新型提供如下技术方案：

一种石墨舟清洗装置，包括：

箱体，内部形成清洗腔，所述箱体的一端设置适于石墨舟通过的开口，且所述开口处设置可开合的盖体；

输送带，设置在所述清洗腔内，用于承托所述石墨舟，并带动所述石墨舟沿远离或朝向所述开口的方向移动；

驱动部，位于所述清洗腔外部，所述驱动部用于驱动所述输送带移动。

可选地，所述输送带为聚丙烯材料。

可选地，所述输送带为链式输送带。

可选地，所述驱动部设置在所述箱体异于所述开口的一端。

可选地，还包括：

传动机构，传动连接所述驱动部和所述输送带。

可选地，所述传动机构为聚丙烯材料。

可选地，所述传动机构包括：

主动轮，与所述驱动部相连，并受所述驱动部的驱动而转动；

从动轮，与所述输送带的主动轴相连，所述从动轮用于驱动所述主动轴转动，所述主动轴驱动所述输送带移动；

传动链，传动连接所述主动轮和所述从动轮。

可选地，还包括：

入口部，与所述清洗腔连通，用于向所述清洗腔内通入清洗液；

溢流导出部，与所述清洗腔连通，且连通位置位于清洗腔内容置的所述石墨舟的上方。