[实用新型]多折扭转梁及包括其的非线性减弱的MEMS扭转镜

权利要求书

1.一种多折扭转梁，其特征在于：包括三组扭转梁、六组横梁及两组过渡梁；

所述三组扭转梁相互平行，沿y方向延伸，沿x方向排布，分别为第一扭转梁、第二扭转梁与第三扭转梁，第一扭转梁与第三扭转梁排布在第二扭转梁两侧，且关于第二扭转梁对称；

六组横梁均沿x方向延伸，分别为第一横梁、第二横梁、第三横梁、第四横梁、第五横梁及第六横梁；第一横梁与第四横梁排布在第二扭转梁两侧，且关于第二扭转梁对称；第二横梁与第五横梁排布在第二扭转梁两侧，且关于第二扭转梁对称；第三横梁与第六横梁排布在第二扭转梁两侧，且关于第二扭转梁对称；

两组过渡梁分别为第一过渡梁与第二过渡梁，沿y方向延伸，排布在第二扭转梁两侧，且关于第二扭转梁对称；

第一横梁、第一扭转梁、第二横梁、第一过渡梁及第三横梁依次首尾相接；

第四横梁、第三扭转梁、第五横梁、第二过渡梁及第六横梁依次首尾相接；

第三横梁与第六横梁连接后与第二扭转梁一端连接，第二扭转梁的另一端用于与MEMS扭转镜连接；第一横梁与第四横梁的自由端远离第二扭转梁，用于与MEMS扭转镜的固定框架连接；

各个梁连接部位设置圆弧倒角；

第二横梁和第五横梁为细长梁，确保在扭转过程中发生一定的变形，变形可将第一扭转梁和第三扭转梁的扭转变形中心由第二扭转梁的几何中心调整到各自的几何中心。

2.根据权利要求1所述的多折扭转梁，其特征在于：W_2.6＞W_2.21＞W_2.6/2≈W_2.51＞W_2.11≈W_2.31；L_2.11≈L_2.41＜L_2.31/2.5；其中，W_2.6为第二扭转梁的宽度，W_2.21为第一扭转梁的宽度，W_2.51为第三横梁的宽度，W_2.11为第一横梁的宽度，W_2.31为第二横梁的宽度，L_2.11为第一横梁的长度，L_2.41为第一过渡梁的长度，L_2.31为第二横梁的长度。

3.根据权利要求2所述的多折扭转梁，其特征在于：W_2.6≈1.4W_2.11≈2W_2.51≈4W_2.11≈4W_2.31；L_2.41≈L_2.31/3。

4.一种非线性减弱的MEMS扭转镜，包括驱动结构、可动结构与及固定框架，所述可动结构包括反射镜与扭转梁；其特征在于：

所述扭转梁为两个权利要求1-3任一所述的多折扭转梁；

两个权利要求1-3任一所述的多折扭转梁对称布置在反射镜两侧；

两个多折扭转梁中第一横梁与第四横梁的自由端均与固定框架连接，驱动结构用于驱动两个多折扭转梁带动反射镜线性运动。

5.根据权利要求4所述的非线性减弱的MEMS扭转镜，其特征在于：所述驱动结构包括永磁体基座、永磁体及外部驱动磁路；永磁体基座设置于反射镜背面中心位置，永磁体基座中心开有与永磁体形状相适配的凹槽；永磁体嵌入永磁体基座的凹槽中；

两个多折扭转梁中第二扭转梁的另一端分别与永磁体基座的相对两侧连接；

外部驱动磁路施加电磁力到永磁体上，通过永磁体将转动力矩作用于两个多折扭转梁，带动反射镜线性运动，实现光扫描。

6.根据权利要求5所述的非线性减弱的MEMS扭转镜，其特征在于：所述反射镜为矩形反射镜；还包括设置于反射镜背面的加强筋，加强筋沿镜面长度方向向外延伸，永磁体基座一体成形。