[实用新型]电子探测器

说明书

本申请公开了一种电子探测器(10)，包括：闪烁体(120)；设置在闪烁体(120)后侧的光学透镜组(130)；以及设置在光学透镜组(130)后侧的光电倍增管(150)，其中闪烁体(120)用于接受电子的轰击发射光子；光学透镜组(130)由至少一个光学透镜(131)组成，并且光学透镜组(130)用于将光子投射到光电倍增管(150)。

技术领域

本申请涉及电子显微镜技术领域，特别是涉及一种电子探测器。

背景技术

电子显微镜是重要的科学仪器，在材料科学、生命科学以及半导体工业等领域发挥着巨大的作用。扫描电子显微镜利用聚焦的高能电子束扫描样品，在扫描的过程中，通过收集入射电子与样品相互作用产生的二次电子以及背散射电子等包含样品表面形貌和成分的电子信息，以达到物质微观形貌表征和成分表征的目的。为了提高图像的信噪比，应当尽可能提高信号电子的收集效率、电子-光子转换效率以及光子传导效率。现有的电子探测器由电子收集网、闪烁体、光导管、光电倍增管以及放大电路组成，在收集电子信号的过程中通常存在以下信号损失行为：1.光子在闪烁体内部发生多次折射被吸收；2.光子在闪烁体出射面被反射回闪烁体内部；3.光子从闪烁体侧壁出射；4.光子在光导管内部被吸收；5.光子在光导管出射面被反射回光导管内部；6.光子在光电倍增管入射面被反射；7光子在光导管出射面出射角度过大，没有完全进入光电倍增管。

针对上述的现有技术中存在的现有的电子探测器在收集电子信号形成图像的过程中存在由于信号损失降低了图像的信噪比，进而影响图像质量的技术问题，目前尚未提出有效的解决方案。

实用新型内容

本实用新型提供了一种电子探测器，以至少解决现有技术中存在的现有的电子探测器在收集电子信号形成图像的过程中存在由于信号损失降低了图像的信噪比，进而影响图像质量的技术问题。

根据本申请的一个方面，提供了一种电子探测器，包括：闪烁体；设置在闪烁体后侧的光学透镜组；以及设置在光学透镜组后侧的光电倍增管，其中闪烁体用于接受电子的轰击发射光子；光学透镜组由至少一个光学透镜组成，并且光学透镜组用于将光子投射到光电倍增管。

可选地，光学透镜的入射面和/或出射面设置有增透膜。

可选地，闪烁体的出射面设置有增透膜。

可选地，还包括：设置于闪烁体前侧的电子收集网，配置用于吸引电子。

可选地，还包括：设置于光学透镜组和光电倍增管中间位置的真空窗，其中真空窗的双面设置有增透膜，并且真空窗用于实现光学透镜组和光电倍增管之间的真空密封。

可选地，还包括：设置于光电倍增管后侧面的法兰，其中法兰为高压引线法兰，配置用于将电压引入电子探测器前侧的真空腔室。

可选地，还包括：导电材质的闪烁体固定器，配置用于固定闪烁体。

可选地，还包括：绝缘材质的光学透镜组固定器，配置用于固定光学透镜组。

从而通过本申请提供的电子探测器，用光学透镜组代替传统的光导管极大地减少了光子在传输过程中的信号损失，达到了光子的近似无损传播，提高图像质量的技术效果。并且在光学透镜的入射面和/或出射面设置增透膜以及闪烁体的出射面设置增透，减少了光子的传播损失，进一步减少了了光子的信号损失，达到了增加图像质量的技术效果。进而解决了现有技术中存在的现有的电子探测器在收集电子信号形成图像的过程中存在由于信号损失降低了图像的信噪比，进而影响图像质量的技术问题。通过调整光学透镜组的光路和放大倍数，还可以调节光束在光电倍增管的入射窗口处的入射角，达到更好地匹配光电倍增管的目的，从而提高了入射光子比例，提高整体放大倍数。

根据下文结合附图对本申请的具体实施例的详细描述，本领域技术人员将会更加明了本实用新型的上述以及其他目的、优点和特征。

附图说明