[实用新型]一种用于安装NXT-MK2光刻机的基础座

说明书

本实用新型公开了一种用于安装NXT‑MK2光刻机的基础座，包括IF基础座、MBSF基础座和WHSF基础座，MBSF基础座包括MBSF基础座RC面体，MBSF基础座RC面体的上表面以矩形阵列的方式设有四个MBSF基础座内嵌不锈钢块，其中，靠近IF基础座的两个MBSF基础座内嵌不锈钢块上均设有MBSF基础座防震脚配件组件；MBSF基础座RC面体的四周外侧表面上均固定连接有一个MBSF基础座内嵌配件C型钢。本实用新型提供的基础座，能满足NXT‑MK2光刻机对基础座的刚性需求和防微震要求及其配套设备的安装环境，能够提供NXT‑MK2光刻机正常运行所需要的环境。

技术领域

本实用新型是涉及一种安装光刻机的基础座，具体说，是涉及一种用于安装NXT-MK2光刻机的基础座，属于光刻机安装技术领域。

背景技术

在电子工业厂内特别是在半导体行业中，NXT-MK2光刻机是在原有NXT光刻机基础上进行了安装方式的更改(MK2表示安装方式)，是该行业中最为昂贵和最为精密的设备之一，对半导体产品制造工艺水平的高低有着关键性影响。

NXT-MK2光刻机对安装条件的要求极为严格，目前中国内陆的电子工业厂，特别是半导体厂，该设备并没有普及使用。一方面是因为其价格昂贵，另外一方面是因为NXT-MK2光刻机对基础座的制作精度和刚性要求极其严格，由此导致中国内陆地区目前半导体制造工艺水平提升缓慢，从而影响了国内半导体行业的整体制造工艺水平提升的步伐。因此，有必要开发出一种可用于安装NXT-MK2光刻机的基础座。

实用新型内容

针对现有技术存在的上述问题和需求，本实用新型的目的是提供一种用于安装NXT-MK2光刻机的基础座。

为实现上述目的，本实用新型采用如下技术方案：

一种用于安装NXT-MK2光刻机的基础座，包括IF基础座、MBSF基础座和WHSF基础座，所述IF基础座和WHSF基础座分别设于MBSF基础座的左右两侧；

所述MBSF基础座的具体结构为：包括MBSF基础座RC面体；所述MBSF基础座RC面体的上表面以矩形阵列的方式设有四个MBSF基础座内嵌不锈钢块，其中，靠近IF基础座的两个MBSF基础座内嵌不锈钢块上均设有MBSF基础座防震脚配件组件，所述MBSF基础座防震脚配件组件包括：一个圆环形的MBSF基础座防震脚配件、一个卡设于圆环形的MBSF基础座防震脚配件的顶部中心的圆柱形的MBSF基础座防震脚配件、一个设于圆环形的MBSF基础座防震脚配件一侧的长方体状的MBSF基础座防震脚配件；所述MBSF基础座RC面体的四周外侧表面上均固定连接有一个MBSF基础座内嵌配件C型钢。

一种实施方案，所述MBSF基础座防震脚配件组件还包括一个圆形的MBSF基础座防震脚配件、两个分别对称设于圆形的MBSF基础座防震脚配件的左右两侧且互相衔接的MBSF基础座防震脚配件，所述圆形的MBSF基础座防震脚配件位于长方体状的MBSF基础座防震脚配件远离圆环形的MBSF基础座防震脚配件的一侧、靠近MBSF基础座RC面体的外侧。

一种实施方案，所述MBSF基础座防震脚配件组件中的每一个MBSF基础座防震脚配件上均设有用于安装螺丝的安装孔，且安装孔内均设有螺纹衬套。

一种实施方案，所述IF基础座的具体结构为：包括IF基础座主面板；

所述IF基础座主面板的上表面左侧设有第二IF基础座面板活动板、第三IF基础座面板活动板、第四IF基础座面板活动板、第五IF基础座面板活动板和第六IF基础座面板活动板；

所述IF基础座主面板的上表面右侧设有第十IF基础座面板活动板；

所述IF基础座主面板的上表面中端位置上设有第一IF基础座面板活动板、第七IF基础座面板活动板、第八IF基础座面板活动板和第九IF基础座面板活动板；