[实用新型]一种真空炉内掺杂安全处理系统

权利要求书

1.一种真空炉内掺杂安全处理系统，其特征在于：包括真空炉(1)，用于抽真空炉(1)内气体的第一抽真空子系统、第二抽真空子系统，用于对抽出的气体进行处理的水气分离器(5)；

第一抽真空子系统与第二抽真空子系统的进气端通过第一三通管(11)与真空炉(1)出气端连接，第一抽真空子系统与第二抽真空子系统的出气端通过第二三通管(62)与水气分离器(5)连接；

第一抽真空子系统包括第一真空泵(2)；

第二抽真空子系统包括水环式真空泵(6)。

2.根据权利要求1所述的一种真空炉内掺杂安全处理系统，其特征在于：第一抽真空子系统还包括集中排气管道(3)、第二真空泵(7)，第一真空泵(2)进气端连接有第一气动阀(12)，第一气动阀(12)进气端与第一三通管(11)连接，第一气动阀(12)的出气端与第一真空泵(2)的进气端连接，第一真空泵(2)的出气端连接集中排气管道(3)的进气口，排气管道的出气口与第二真空泵(7)进气端连接，第二真空泵(7)的出气端。

3.根据权利要求1所述的一种真空炉内掺杂安全处理系统，其特征在于：水气分离器(5)的出液口连接有污水处理槽(4)。

4.根据权利要求1所述的一种真空炉内掺杂安全处理系统，其特征在于：水气分离器(5)的出气口连接有气体过滤装置(8)。

5.根据权利要求4所述的一种真空炉内掺杂安全处理系统，其特征在于：气体过滤装置(8)包括：箱体(81)，可拆卸安装在箱体(81)内的过滤板(83)、紫外线消毒灯(84)；

箱体(81)内设有第一空腔(801)，第一空腔(801)顶部设有安装槽(813)，安装槽(813)内设有插槽，插槽的宽度与过滤板(83)厚度相对应，过滤板(83)安装在插槽内；

第一空腔(801)顶部还设有矩形开孔(815)，紫外线消毒灯(84)安装在矩形开口处延伸至第一空腔(801)内。

6.根据权利要求5所述的一种真空炉内掺杂安全处理系统，其特征在于：安装槽(813)一端铰接安装有密封盖(82)，密封盖(82)的厚度与安装槽(813)深度相对应，安装槽(813)另一端设有第一安装板(816)，密封盖(82)一端设有与第一安装板(816)相对应的第二安装板，第一安装板(816)与第二安装板，通过螺栓固定，密封盖(82)将过滤板(83)密封在第一空腔(801)内。

7.根据权利要求5所述的一种真空炉内掺杂安全处理系统，其特征在于：矩形开孔(815)内设有多个第一螺栓孔，紫外线消毒灯(84)上设有多个与第一螺栓孔相对应的第二螺栓孔，紫外线消毒灯(84)通过螺栓固定在箱体(81)上。

8.根据权利要求6所述的一种真空炉内掺杂安全处理系统，其特征在于：箱体(81)内还设有第二空腔(802)、第三空腔(803)、第四空腔(804)，第二空腔(802)内安装有第一鼓风机(87)，第一鼓风机(87)进气口延伸至第一空腔(801)内，第一鼓风机(87)的出气口延伸至第三空腔(803)内。

9.根据权利要求8所述的一种真空炉内掺杂安全处理系统，其特征在于：第三空腔(803)内安装有多个喷头(88)，第三腔顶部安装有剂液配置箱(85)，剂液配置箱(85)与对个喷头(88)连接。

10.根据权利要求9所述的一种真空炉内掺杂安全处理系统，其特征在于：第四空腔(804)内安装有第二鼓风机(86)，第二鼓风机(86)的进气口延伸至第三空腔(803)内，第二鼓风机(86)的出气口与箱体(81)的出气口连接。