[实用新型]检查装置

说明书

本实用新型的检查装置(10)具有多个第1柱塞(110)、和将多个第1柱塞(110)中的至少一部分柱塞彼此电连接的连接部。检查装置(10)还具有：第1销板(130)，其具有供多个第1柱塞(110)插入的多个第1贯穿孔(132)；和第1导电图案(134)，其设在第1销板(130)，并将至少一部分第1柱塞(110)彼此电连接。

技术领域

本实用新型涉及检查装置。

背景技术

开发出各种检查装置，其用于检测集成电路(IC)等电子装置的特性。如专利文献1所述，检查装置具有多个柱塞(plunger)。专利文献1中，各柱塞具有顶端接触件、和与顶端接触件连接的柱状部。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开2014－25737号公报

实用新型内容

如专利文献1所述，检查装置有时具有多个柱塞。在该情况下，有时通过对各个柱塞经由各自的电气路径供给电位，而使多个柱塞的电位均衡化。但是在使用这种电气路径的情况下，检查装置的构造变得复杂。

本实用新型的目的的一例为，通过简单构造来使多个柱塞的电位均衡化。本实用新型的其他目的根据本说明书的记载而变得明晰。

本实用新型的一个方式为检查装置，其具有：

多个柱塞；和

连接部，其使所述多个柱塞中的至少一部分柱塞彼此电连接。

实用新型效果

根据本实用新型的上述方式，能够通过简单构造而使多个柱塞的电位均衡化。

附图说明

图1是实施方式的检查装置的俯视图。

图2是图1的A－A′剖视图。

图3是详细表示实施方式的检查装置的立体剖视图。

图4是用于详细说明第1柱塞以及第1销板的剖视图。

图5是用于说明实施方式的第1柱塞的制造方法的剖视图。

附图标记说明

10 检查装置

100 第1弹性体

102 孔

104 导电膜

110 第1柱塞

112 第1顶端接触件

114 第1柱状部

116 第1承托部

116a 第1晶种层

116b 第1镀覆层

120 第2柱塞

122 第2顶端接触件

124 第2柱状部

126 第2承托部

130 第1销板

132 第1贯穿孔

134 第1导电图案

140 第2销板

142 第2贯穿孔

150 框架

152 开口