[实用新型]一种新型氧化扩散炉高温炉体密封箱

说明书

本实用新型公开了一种新型氧化扩散炉高温炉体密封箱，涉及半导体前道设备技术领域。本实用新型包括第一密封组件、第二密封组件和第三密封组件，第二密封组件的顶部与第一密封组件的下部连接，第二密封组件的底部通过密封垫与第三密封组件的顶部连接，第三密封组件的底部与第一密封组件的上部连接，第三密封组件包括储水室和密封主体，密封主体的前侧和后侧开设有储水室。本实用新型通过设置第二密封组件、第三密封组件和储水室，解决了现有的新型氧化扩散炉高温炉体密封箱的容量都是固定的，无法根据使用需求对高温炉体密封箱的容量进行增大，以及新型氧化扩散炉高温炉体密封箱内部的温度较高，无法对高温炉体密封箱的温度进行收集利用的问题。

技术领域

本实用新型属于半导体前道设备技术领域，特别是涉及一种新型氧化扩散炉高温炉体密封箱。

背景技术

新型氧化扩散炉高温炉体是一种加热设备，高温炉是国家标准节能型周期作业电炉，主要供合金钢制品、各种金属机件正火、淬火、退火等热处理之用，或金刚石等切割刀片进行高温烧结用途，但它在实际使用中仍存在以下弊端：

1、现有的新型氧化扩散炉高温炉体密封箱的容量都是固定的，需要较大的高温炉体密封箱时，需要更换设备，大大增加了该装置的成本支出，无法根据使用需求对高温炉体密封箱的容量进行增大，大大增加了该装置的局限性；

2、现有的新型氧化扩散炉高温炉体密封箱内部的温度较高，直接排放到空气中，增加空气温度，大大影响了工作人员的工作，无法对高温炉体密封箱的温度进行收集利用，使得资源无法循环利用导致浪费。

因此，现有的一种新型氧化扩散炉高温炉体密封箱，无法满足实际使用中的需求，所以市面上迫切需要能改进的技术，以解决上述问题。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种新型氧化扩散炉高温炉体密封箱，通过设置第二密封组件、第三密封组件和储水室，解决了现有的新型氧化扩散炉高温炉体密封箱的容量都是固定的，需要较大的高温炉体密封箱时，需要更换设备，大大增加了该装置的成本支出，无法根据使用需求对高温炉体密封箱的容量进行增大，大大增加了该装置的局限性，以及新型氧化扩散炉高温炉体密封箱内部的温度较高，直接排放到空气中，增加空气温度，大大影响了工作人员的工作，无法对高温炉体密封箱的温度进行收集利用，使得资源无法循环利用导致浪费的问题。

为解决上述技术问题，本实用新型是通过以下技术方案实现的：

本实用新型为一种新型氧化扩散炉高温炉体密封箱，包括第一密封组件、第二密封组件和第三密封组件，所述第二密封组件的顶部与第一密封组件的下部连接，所述第二密封组件的底部通过密封垫与第三密封组件的顶部连接，所述第三密封组件的底部与第一密封组件的上部连接，所述第三密封组件包括储水室和密封主体，所述密封主体的前侧和后侧开设有储水室，所述第二密封组件和第三密封组件的结构相同。

进一步地，所述第二密封组件和第三密封组件两侧的连接处均螺纹连接有连接螺栓，所述连接螺栓之间卡接有连接块，该装置利用连接块将第二密封组件和第三密封组件进行连接，并使用连接螺栓将其进行固定，大大增加了该装置的连接性。

进一步地，所述第一密封组件包括第一固定螺栓、固定块和密封盖，所述密封盖的顶部开设有第一卡槽，所述密封盖顶部的两侧与固定块的底部固定连接，所述固定块的一侧与第一固定螺栓的一端螺纹连接，该装置利用在密封盖上连接固定块，能够通过第一固定螺栓将密封盖固定在第二密封组件和第三密封组件上，使得该装置连接的更加紧密，大大增加了该装置的密封性。

进一步地，所述密封主体两侧的中部设置有螺纹管，所述螺纹管的内部螺纹连接有螺纹柱，所述螺纹柱的一端固定连接有旋转块，该装置利用在密封主体上连接螺纹管，能够与螺纹柱连接，不使用时，可将螺纹柱将螺纹管堵住，以保证密封主体内的密封性，使得该装置在使用时更加的方便。