[实用新型]一种基于qPlus的光耦合扫描探针显微镜

权利要求书

1.一种基于qPlus的光耦合扫描探针显微镜，包括基座（1）和扫描成像装置（2），基座（1）上固定设置有样品台（3），其特征在于：所述基座（1）还通过支撑架（4）连接有用于调节扫描成像装置（2）并将其探测端定位于样品台（3）任意位置的驱动装置（5），扫描成像装置（2）底部还固定设置有qPlus传感器（6）；所述基座（1）上还固定设置有第一光学透镜三维纳米定位装置（7）和第二光学透镜三维纳米定位装置（8），并通过第一光学透镜三维纳米定位装置（7）和第二光学透镜三维纳米定位装置（8）在样品台（3）上的任意位置形成激光聚焦光斑。

2.根据权利要求1所述的一种基于qPlus的光耦合扫描探针显微镜，其特征在于：所述驱动装置（5）包括驱动架（51），所述驱动架（51）底面设置有若干组水平驱动压电陶瓷致动器（52），所述支撑架（4）顶面设置有若干分别与各组水平驱动压电陶瓷致动器（52）相接触的水平耐磨蓝宝石片（53）。

3.根据权利要求2所述的一种基于qPlus的光耦合扫描探针显微镜，其特征在于：所述驱动架（51）上还设置有用于放置扫描成像装置（2）的内腔，内腔侧壁设置有若干组竖直驱动压电陶瓷致动器（54）；所述扫描成像装置（2）包括固定相连的扫描陶瓷管（21）和负载棱柱（22），负载棱柱（22）的侧面均匀设置有若干组与竖直驱动压电陶瓷致动器（54）一一对应接触的竖直耐磨蓝宝石片（23）。

4.根据权利要求2或3中任意一项所述的一种基于qPlus的光耦合扫描探针显微镜，其特征在于：所述驱动架（51）的横截面呈一侧为开口的U形结构，并通过与螺栓连接的施压弹簧片（55）将开口端密封，所述施压弹簧片（55）通过致动器托（56）固定连接有一组竖直驱动压电陶瓷致动器（54）。

5.根据权利要求2所述的一种基于qPlus的光耦合扫描探针显微镜，其特征在于：所述支撑架（4）顶部丝扣连接有调节螺杆（9），调节螺杆（9）的一端固定连接有施压板（10）；所述驱动架（51）顶部固定设置有调节弹簧片（57），调节弹簧片（57）上固定设置有受压限位块（58）；所述受压限位块（58）内放置有调节球（59），调节球（59）的顶部与施压板（10）接触。

6.根据权利要求5所述的一种基于qPlus的光耦合扫描探针显微镜，其特征在于：所述施压板（10）和受压限位块（58）与调节球（59）接触的一面均设置有耐磨蓝宝石片；所述调节球（59）为蓝宝石球。

7.根据权利要求1所述的一种基于qPlus的光耦合扫描探针显微镜，其特征在于：所述基座（1）顶部均匀设置有若干连接杆（11），所述连接杆（11）上套置有用于连接外部设备的减振弹簧（12）；所述基座（1）底部设置有锚定挂钩（13），同时还均匀设置有若干阻尼磁体（14），且所述阻尼磁体（14）环绕锚定挂钩（13）呈环形布置。

8.根据权利要求2所述的一种基于qPlus的光耦合扫描探针显微镜，其特征在于：所述支撑架（4）与驱动架（51）之间还设置有相互配合的限位槽（41）和限位块（511）。

9.根据权利要求1所述的一种基于qPlus的光耦合扫描探针显微镜，其特征在于：所述第一光学透镜三维纳米定位装置（7）和第二光学透镜三维纳米定位装置（8）均包括底座（15）和滑动设置于底座（15）上的第一水平滑座（16），第一水平滑座（16）上均滑动设置有第二水平滑座（17），且所述第一水平滑座（16）和第二水平滑座（17）的滑动方向在水平面内相互垂直；所述第二水平滑座（17）上滑动设置有沿竖直方向上下滑动的第三滑座（18），第三滑座（18）上设置有用于固定光学透镜的固定环（19）。

10.根据权利要求9所述的一种基于qPlus的光耦合扫描探针显微镜，其特征在于：所述底座（15）与第一水平滑座（16）、第一水平滑座（16）与第二水平滑座（17）和第二水平滑座（17）与第三滑座（18）之间均通过若干组驱动压电陶瓷致动器（20）作为驱动装置。