[实用新型]一种掩膜版清洗剂使用喷淋设备

说明书

本实用新型公开了一种掩膜版清洗剂使用喷淋设备，涉及掩膜版清洗设备领域，针对现有的掩膜版采用浸泡清洗方式清洁效果不佳，影响掩膜版使用寿命，增加显示器制备成本的问题，现提出如下方案，其包括清洗槽和安装箱，所述清洗槽的顶端内部固定安装有两个呈横向设置的托架，且所述清洗槽内部设有出水口，所述清洗槽的两端均设有夹持装置，所述夹持装置包括夹板和安装板，所述清洗槽的顶端上均设有喷淋装置，所述喷淋装置包括蓄水管和支撑架，所述清洗槽的两侧壁上设有联动装置。本实用新型结构新颖，且该装置不仅可以对掩膜版进行流动式清洗，还可以实现清洗过程中对掩膜版夹持稳定，降低掩膜板清洗受损的概率，延长其使用寿命。

技术领域

本实用新型涉及掩膜版清洗设备领域，尤其涉及一种掩膜版清洗剂使用喷淋设备。

背景技术

光掩膜基版是制作微细光掩膜图形的理想感光性空白板，通过光刻制版工艺可以获得所需光掩膜版，产品是由石英玻璃作为衬底，在其上面镀上一层金属铬和感光胶，成为一种感光材料，把已设计好的电路图形通过电子激光设备曝光在感光胶上,被曝光的区域会被显影出来，在金属铬上形成电路图形，成为类似曝光后的底片的光掩模版，然后应用于对集成电路进行投影定位。

掩膜版在多次曝光中出现光刻胶等脏污，必须清洗干净，在清洗过程中通常采用将清洗件直接放在盛有清洗剂的容器中浸泡，由于清洗剂是静止的，所以清洗后的污垢容易重新附着清洗件表面，清洗能力有限，影响掩膜版使用寿命，导致显示器制备成本高，因此，为了解决此类问题，我们提出了一种掩膜版清洗剂使用喷淋设备。

实用新型内容

本实用新型提出的一种掩膜版清洗剂使用喷淋设备，解决了掩膜版采用浸泡清洗方式清洁效果不佳，影响掩膜版使用寿命，增加显示器制备成本的问题。

为了实现上述目的，本实用新型采用了如下技术方案：

一种掩膜版清洗剂使用喷淋设备，包括清洗槽和安装箱，所述清洗槽的顶端内部固定安装有两个呈横向设置的托架，且所述清洗槽内部设有出水口，所述清洗槽的两端均设有夹持装置，所述夹持装置包括夹板和安装板，所述清洗槽的顶端上均设有喷淋装置，所述喷淋装置包括蓄水管和支撑架，所述清洗槽的两侧壁上设有联动装置，所述联动装置包括电机、第一齿条、第二齿条和齿轮；

所述清洗槽的底端固定安装安装箱，所述安装箱与清洗槽之间设有传动机构，所述传动机构包括承重架、液压伸缩杆、转盘、第一从动杆、第二从动杆和基杆。

优选的，所述清洗槽的两侧均固定安装有两个呈纵向设置的安装板，且同侧的两个所述安装板之间转动安装有呈V型设置的夹板。

优选的，两个所述夹板的底端均开设有槽口，两个所述槽口均固定安装有呈横向设置的固定轴，两个所述固定轴的圆周侧壁上分别铰接有第一从动杆和第二从动杆，所述安装箱的一侧固定安装有两个呈竖直状的承重架，两个所述承重架之间固定连接有横杆，所述横杆上转动套设有液压伸缩杆，所述安装箱的内部转动安装有呈竖直设置的转盘，所述转盘的一侧固定安装有三组结构相同且呈水平方向设置的基杆。

优选的，三组所述基杆均呈横向设置，且所述第一从动杆、第二从动杆和液压伸缩杆的一端分别与三组所述基杆依次铰接。

优选的，所述清洗槽的两侧壁上均开设有限位槽，所述限位槽的顶端以及底端内壁上均滑动安装有呈横向设置的第一齿条以及第二齿条，所述第一齿条与第二齿条呈错位分布，两个所述限位槽的内部均转动安装有齿轮，且所述齿轮位于第一齿条以及第二齿条相互靠近的一侧，且与第一齿条以及第二齿条上的齿块相啮合，所述清洗槽的一侧固定安装有电机，且其中一个所述齿轮的转动轴与电机的输出轴固定连接设置。

优选的，相对的两个所述第一齿条以及两个所述第二齿条之间均固定安装有呈倒U型且竖直设置的支撑架，且两个所述所述支撑架顶端圆周侧壁上均固定套设有蓄水管，两个所述蓄水管的圆周侧壁上均开设有呈阵列分布的喷嘴，以及蓄水管的一端开设有接水口。

本实用新型的有益效果为：