[实用新型]一种硅片花篮定位装置

权利要求书

1.一种硅片花篮定位装置，包括支架板和安装于所述支架板上的定位单元，所述定位单元包括限位组件和顶紧组件，所述限位组件包括分别位于同一矩形的四条边位置的四个限位机构，每个所述限位机构包括支撑部和阻挡部，所述支撑部具有朝向所述矩形内侧的内边缘和朝向所述矩形外侧的外边缘，所述支撑部的内边缘与所述阻挡部的下边缘相接，所述顶紧组件位于所述矩形其中一个短边位置的外侧并包括可沿所述矩形的长度方向伸缩的伸缩杆，被定位花篮设于所述矩形的内侧，所述四个限位机构支撑被定位花篮和限制被定位花篮向所述矩形的外侧方向移动，所述顶紧组件的伸缩杆伸入所述矩形的内侧后顶紧被定位硅片花篮的其中一块花篮端板并使另一块花篮端板顶紧在位于所述矩形另一个短边位置的限位机构的阻挡部上；

其特征在于，位于所述矩形的两个长边位置的两个限位机构中，每一者的支撑部沿所述矩形的长度方向延伸并且延伸至所述矩形的两短边位置，每一者的阻挡部沿所述矩形的长度方向延伸并且延伸至所述矩形的两短边位置，位于所述矩形的两个长边位置的两个限位机构导向被定位花篮沿所述矩形的长度方向滑入所述四个限位机构之间。

2.根据权利要求1所述的硅片花篮定位装置，其特征在于，位于所述矩形的两个短边位置的两个限位机构中，每一者的支撑部沿所述矩形的宽度方向延伸，每一者的阻挡部沿所述矩形的宽度方向延伸。

3.根据权利要求1所述的硅片花篮定位装置，其特征在于，所述阻挡部具有朝向所述矩形内侧的内表面、朝向上方的上表面以及过渡连接所述内表面和所述上表面的倒角面。

4.根据权利要求1所述的硅片花篮定位装置，其特征在于，位于所述矩形的两个短边位置的两个限位机构中，其中一者的支撑部的支撑面低于另一者的支撑部的支撑面，位于所述矩形的两个长边位置的两个限位机构中，每一者的支撑部的支撑面倾斜设置，被定位花篮被倾斜的定位于所述定位单元中。

5.根据权利要求1所述的硅片花篮定位装置，其特征在于，所述四个限位机构中，每一者的横截面为L形。

6.根据权利要求2所述的硅片花篮定位装置，其特征在于，位于所述矩形与所述顶紧组件之间的限位机构中，其阻挡部设有可供所述伸缩杆穿过的避让区。

7.根据权利要求6所述的硅片花篮定位装置，其特征在于，所述避让区为槽口朝向上方的凹槽。

8.根据权利要求1所述的硅片花篮定位装置，其特征在于，位于所述矩形的两个长边位置的两个阻挡部中，每一者设有减重孔。

9.根据权利要求1所述的硅片花篮定位装置，其特征在于，所述支架板上设有与所述矩形内侧对应的镂空区和设于相邻两个所述镂空区之间的减重孔。

10.根据权利要求1所述的硅片花篮定位装置，其特征在于：位于所述矩形的两个短边位置的两个限位机构中，每一者的支撑部沿上下方向的高度为第一高度，位于所述矩形的两个长边位置的两个限位机构中，每一者的支撑部沿上下方向的高度为第二高度，所述第一高度大于所述第二高度，位于所述矩形的两个短边位置的两个限位机构中，每一者的支撑部沿所述矩形的长度方向的厚度为第一厚度，位于所述矩形的两个长边位置的两个限位机构中，每一者的支撑部沿所述矩形的短边方向的厚度为第二厚度，所述第一厚度大于所述第二厚度，位于所述矩形的两个长边位置的两个限位机构中，每一者的支撑部沿所述矩形的长度方向的两端上设有固定在支架板上的固定支架。