[实用新型]一种用于测试探针加工的研磨装置

说明书

本实用新型公开一种用于测试探针加工的研磨装置，包括机架，以及设置于机架上的上料机构、夹持机构、研磨机构和下料机构；本实用新型通过设置上料机构、夹持机构、研磨机构和下料机构，使得可以实现探针研磨的上料、取料、研磨、下料自动化，大大减少了人工操作，提高了工作效率；避免操作者直接与研磨机构接触，降低了生产风险；设置的第一驱动机构和第二驱动机构可以使得磨盘沿着与夹持手平行和垂直的方向移动，进而实现对探针的全方位研磨，提高了研磨效果。

技术领域

本实用新型涉及探针制造技术领域，尤其涉及一种用于测试探针加工的研磨装置。

背景技术

探针广泛用于检查形成于包括液晶显示装置(Liquid Crystal Display，LCD)、等离子显示面板(Plasma Display Panel，PDP)的平板显示装置或晶圆上的半导体元件的性能。探卡用于使履行被检查体的检查中所需要的功能的检查装置(Probe Station)和被检查体电连接，其包括与被检查体直接接触的探针(Probe Pin)的集合。就简单的条(bar)形态的直线型探针而言，由于形状简单，因而容易管理精度，且制作时产品的再现性良好，另一方面，可以利用光蚀刻工程或光刻工程或压型模等容易制作，因而使用范围正逐渐扩大。

但随着半导体元件越来越复杂，对探针的要求越来越高，如探针的针身要求细长，针尖部分形状精度要求高，导致探针制作困难。而在生产测试探针针头的生产过程中，需要通过手工进行操作，不仅效率低且质量较差。

实用新型内容

本实用新型的目的是提供一种用于测试探针加工的研磨装置。

为实现上述目的，采用以下技术方案：

一种用于测试探针加工的研磨装置，包括机架，以及设置于所述机架上的上料机构、夹持机构、研磨机构和下料机构；所述上料机构，包括一转盘，所述转盘的圆周上等距离设置有用于装载探针的限位槽，所述转盘由第一驱动电机驱动；所述夹持机构，包括一架设在所述机架上方的横板，所述横板通过第一气缸在所述上料机构和所述下料机构之间移动，所述横板上设置有夹持组件，所述夹持组件包括一由微型电机控制开合的夹持手，以及一控制所述夹持手升降的第二气缸；所述研磨机构，包括一磨盘和一驱动所述磨盘的第二驱动电机，以及使得所述第二驱动电机沿着与所述横板的移动方向相平行地直线移动的第一驱动机构，和使得所述第二驱动电机沿着与所述横板的移动方向相垂直地直线移动的第二驱动机构；所述下料机构，包括一用于收集探针的托架，以及驱动所述托架移动的第三驱动机构。

进一步的，所述上料机构还包括两个限位板，两个所述限位板分别设在所述转盘的两侧，所述限位板之间距离等于探针的长度。设置两个限位板对探针进行限位，防止探针在转盘转动传输时倾斜。

进一步的，所述转盘的两侧还设有两个接针架，所述转盘从两个所述接针架中间穿过，所述接针架上设有用于承载探针的凹槽。当转盘上的探针来到两个接针架之间时，探针被接针架接住，进入到凹槽中。

进一步的，所述第一气缸通过两个立板架设在所述机架的上方，所述第一气缸的驱动端与所述横板连接，所述第一气缸为磁耦无杆气缸。便于横板带动夹持组件移动到上料机构、研磨机构和下料机构处。

进一步的，所述磨盘的下方设有一收集斗，所述收集斗的出料口延伸至所述机架外部。收集研磨探针时产生的粉尘，并排到机架外。

进一步的，所述第二驱动电机设置于一第一支撑板上，所述第一驱动机构包括一第三驱动电机、一第一丝杆和一第一丝母，所述第一丝杆由上述第三驱动电机驱动旋转，所述第三驱动电机设置于所述第一支撑板上，所述第一丝母与第二支撑板相连接。由于第一丝母连接在第二支撑板上，第三驱动电机连接在第一支撑板上，当第三驱动电机驱动第一丝杆旋转时，即第三驱动电机带动第一支撑板移动，进而实现带动第二驱动电机沿着与横板的移动方向相平行地直线移动。