[实用新型]一种气浮位移平台

说明书

本实用新型提供一种气浮位移平台，包括位移机构和用于支撑位移机构的气浮机构，气浮机构包括气浮支架以及设置于气浮支架顶端的气动薄膜片，位移机构设置于气浮支架顶部，用于实现对位移机构的稳定支撑；位移机构包括结构相同的横向移动装置和竖向移动装置，横向移动装置包括横向驱动组件和横向支撑组件，待移动物体放置于横向支撑组件上，横向支撑组件的一侧与横向驱动组件的输出端固定连接，实现对待移动物体的横向移动。本实用新型能够通过气浮机构与位移机构的配合，实现对位移机构的稳定支撑，避免了由于外部震动对移动造成干扰的问题；通过丝杆与丝杆螺母的配合，实现横向或者竖向的精准移动，增加了待移动物体的稳定精准移动。

技术领域

本实用新型涉及位移设备技术领域，具体涉及一种气浮位移平台。

背景技术

现有的位移设备中普遍需要直接或间接放置于工作平面上，工作平面发生轻微震动或者晃动时，会导致位移设备所移动的数据存在误差，造成位移数据不准确。

实用新型内容

有鉴于此，本实用新型要解决的问题是提供一种使得位移平稳，避免外部震动干扰的气浮位移平台。

为解决上述技术问题，本实用新型采用的技术方案是：一种气浮位移平台，包括位移机构和用于支撑位移机构的气浮机构，所述气浮机构包括气浮支架以及设置于气浮支架顶端的气动薄膜片，所述位移机构设置于气浮支架顶部，用于实现对位移机构的稳定支撑；

所述位移机构包括结构相同的横向移动装置和竖向移动装置，其中，所述横向移动装置包括横向驱动组件和横向支撑组件，待移动物体放置于所述横向支撑组件上，所述横向支撑组件的一侧与横向驱动组件的输出端固定连接，实现对待移动物体的横向移动。

优选的，所述横向移动装置固定安装于竖向移动装置顶部。

所述横向支撑组件包括横向支撑底板与横向支撑顶板，所述横向支撑底板与横向支撑顶板滑动连接，所述待移动物体放置于所述横向支撑顶板上，以实现待移动物体的横向位移。

所述横向支撑底板上设置有横向滑动槽，所述横向滑动槽的两侧分别设置有第一横向导轨，所述横向支撑顶板底部设置有与横向滑动槽相匹配的横向滑动块，所述横向滑动块的两侧分别设置有与第一横向导轨相匹配的第二横向导轨，实现横向支撑底板与横向支撑顶板的相对滑动。

所述横向驱动组件包括固定安装于横向支撑底板一侧的横向驱动支架以及固定安装于横向驱动支架上的横向电机支架，所述横向电机支架的一侧固定安装有横向电机。

所述横向电机的输出端固定连接有横向丝杆，所述横向驱动支架上还设置有两个横向固定架，所述横向丝杆的两端分别转动连接于两个横向固定架上，所述横向丝杆上还固定有横向丝杆螺母，所述横向丝杆螺母上固定有横向驱动连接架，所述横向驱动连接架固定安装于横向支撑顶板的一侧，以实现将横向支撑顶板的横向运动的驱动。

优选的，所述竖向移动装置包括竖向驱动组件和竖向支撑组件，待移动物体放置于所述竖向支撑组件上，所述竖向支撑组件的一侧与竖向驱动组件的输出端固定连接，实现对待移动物体的竖向移动。

所述竖向支撑组件包括竖向支撑底板与竖向支撑顶板，所述竖向支撑底板与竖向支撑顶板滑动连接，所述待移动物体放置于所述竖向支撑顶板上，以实现待移动物体的竖向位移。

所述竖向支撑底板上设置有竖向滑动槽，所述竖向滑动槽的两侧分别设置有第一竖向导轨，所述竖向支撑顶板底部设置有与竖向滑动槽相匹配的竖向滑动块，所述竖向滑动块的两侧分别设置有与第二竖向导轨，所述第二竖向导轨的位置与第一竖向导轨相匹配，实现竖向支撑底板与竖向支撑顶板的相对滑动。

所述竖向驱动组件包括固定安装于竖向支撑底板一侧的驱动支架以及固定安装于驱动支架上的竖向电机支架，所述竖向电机支架的一侧固定安装有竖向电机。