[实用新型]一种硅棒粗磨精磨设备有效
申请号: | 202121352762.X | 申请日: | 2021-06-17 |
公开(公告)号: | CN215547627U | 公开(公告)日: | 2022-01-18 |
发明(设计)人: | 朱晓平;姚亚君 | 申请(专利权)人: | 科莱思半导体智造(浙江)有限公司 |
主分类号: | B24B25/00 | 分类号: | B24B25/00;B24B41/06;B24B47/12;B24B49/00;B24B41/02;B24B41/00 |
代理公司: | 浙江永航联科专利代理有限公司 33304 | 代理人: | 樊岑遥 |
地址: | 314100 浙江省嘉兴市嘉善县罗星*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 硅棒粗磨精磨 设备 | ||
1.一种硅棒粗磨精磨设备,包括底座(1)、第一台体和第二台体,其特征在于:还包括控制器、固定机构(2)和打磨机构(3),固定机构(2)设在第一台体的顶部以用来固定硅棒,固定机构(2)包括夹持组件(4)和两个搭接块(5),打磨机构(3)设在第二台体的顶部以用来打磨硅棒,打磨机构(3)包括砂轮(6)、角度调节组件(7)、高度调节组件(8)和滑动组件(9),滑动组件(9)设在第二台体的顶部,滑动组件(9)的顶部呈竖直设有立板,高度调节组件(8)设在立板的顶部,角度调节组件(7)设在高度调节组件(8)上,砂轮(6)固定设在角度调节组件(7)上,夹持组件(4)、角度调节组件(7)、高度调节组件(8)和滑动组件(9)与控制器均为电性连接。
2.根据权利要求1所述的一种硅棒粗磨精磨设备,其特征在于:高度调节组件(8)包括伺服电机(10)、第一连杆(11)、第二连杆(12)和升降板(13),伺服电机(10)固定设在立板的外壁上,第一连杆(11)套设在其输出端上,第二连杆(12)铰接设置在第一连杆(11)远离第二伺服电机(10)一端,升降板(13)滑动设置在立板的顶部,第二连杆(12)远离第一连杆(11)的一端与升降板(13)的底部铰接,伺服电机(10)与控制器电连接。
3.根据权利要求2所述的一种硅棒粗磨精磨设备,其特征在于:升降板(13)的一端外壁上固定设有锥形指示条(14),立板的顶部外壁上设有刻度值(15),锥形指示条(14)朝向刻度值(15)。
4.根据权利要求3所述的一种硅棒粗磨精磨设备,其特征在于:角度调节组件(7)包括步进电机(16)、第一转盘(17)、第二转盘(18)和第三连杆(19),步进电机(16)呈竖直设在升降板(13)的顶部,其输出端穿过升降板(13),第一转盘(17)套设在其输出端上,第二转盘(18)铰接设置在升降板(13)远离第一转盘(17)的底部一端,且第一转盘(17)小于第二转盘(18),第三连杆(19)铰接设置在第一转盘(17)和第二转盘(18)之间,步进电机(16)与控制器电连接。
5.根据权利要求4所述的一种硅棒粗磨精磨设备,其特征在于:夹持组件(4)包括双轴气缸(20)、两个推板(21)和两个压块(22),双轴气缸(20)固定设在第一台体的顶部,两个推板(21)分别固定设在双轴气缸(20)的两个输出端上,每个压块(22)均固定设在一个推板(21)上,第一台体的顶部呈对称设置有两个立块,每个立块的外壁上均固定设有导杆,每个导杆的外壁上均套设有缓冲弹簧(23),且每个导杆均与一个推板(21)插接,立块和推板(21)分别与缓冲弹簧(23)的两端抵触,双轴气缸(20)与控制器电连接。
6.根据权利要求5所述的一种硅棒粗磨精磨设备,其特征在于:滑动组件(9)包括电动推杆(24)和滑板(25),第二台体的顶部固定设有滑轨,滑板(25)滑动设置在滑轨的顶部,滑板(25)的顶部与立板的底部固定连接,电动推杆(24)固定设在第二台体的顶部,其输出端与立板的底部固定连接,立板的底部另一端套设有限位杆,电动推杆(24)与控制器电连接。
7.根据权利要求6所述的一种硅棒粗磨精磨设备,其特征在于:第二转盘(18)的底部固定设有安装壳,安装壳的外壁上固定设有微电机(26),砂轮(6)位于安装壳的内部,且砂轮(6)与微电机(26)的输出端套接,微电机(26)与控制器电连接。
8.根据权利要求7所述的一种硅棒粗磨精磨设备,其特征在于:每个搭接块(5)的顶部均呈一体成型设置有V型槽(28)。
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