[实用新型]一套带有背光源的工作台装置

说明书

本实用新型涉及光刻技术领域，尤其为一套带有背光源的工作台装置，包括工作台、背光源组件、刷板和工作电机，所述工作台上端设置有工作板，所述工作台下端设置有立杆，所述工作板内部设置有背光源组件，所述工作板下端与工作台上端固定连接，所述工作板上端设置有定位块，所述工作台上端设置有旋转夹紧缸压片，所述工作台下端右侧设置有电机架，所述旋转夹紧缸压片下端设置有旋转夹紧缸组件，本实用新型通过设置的具有良好匀光性能的背光板源组件，以增加边缘的明暗对比，同时旋转夹紧缸方便固定工件托盘，又可以有效的利用空间，而且设置的可以水平移动的滑板能够进行自动清理，操作简单非常方便实用。

技术领域

本实用新型涉及光刻技术领域，具体为一套带有背光源的工作台装置。

背景技术

光刻技术是用于在基底表面上印刷具有特征的构图的技术，在光照作用下，借助光致抗蚀剂(又名光刻胶)将掩膜版上的图形转移到基片上的技术，使掩膜版上的图形被复制到光刻胶薄膜上，最后利用刻蚀技术将图形转移到基片上，这样的基底可包括用于制造半导体器件、多种集成电路、手机屏幕、平面显示器、电路板、生物芯片、微机械电子芯片、光电子线路芯片等的芯片，在光刻技术应用于手机屏幕制程中，需要用相机对手机屏幕的边缘抓取，以便进行对位计算，保证制造的精度，因此需要光源，以增加边缘的明暗对比，准确的抓取边缘直线。

目前，光刻机的工作台采用真空吸附方式，光源安装在对准镜筒的端部，这样的光源有方向性，相机无法准确抓取工件的边缘，且对应用于手机屏幕制程，工件需要做托盘，托盘尺寸一致，无需满足不同尺寸的托盘，同时背光源组件表面会落有灰尘等污垢影响工作，而传统的工作台还需要人工进行清理，不仅操作麻烦耗费体力精力，而且人工清理容易出现误操作而损伤工作台表面的背光源组件，因此需要对现有的光刻工作台进行改进。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一套带有背光源的工作台装置，以解决上述背景技术中提出的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：

一套带有背光源的工作台装置，包括工作台、背光源组件、刷板和工作电机，所述工作台上端设置有工作板，所述工作台下端设置有立杆，所述工作板内部设置有背光源组件，所述工作板下端与工作台上端固定连接，所述工作板上端设置有定位块，所述工作台上端设置有旋转夹紧缸压片，所述工作台下端右侧设置有电机架，所述旋转夹紧缸压片下端设置有旋转夹紧缸组件，所述电机架上端与工作台下端固定连接，所述工作台右端设置有矩形框，所述背光源组件上端设置有刷板，所述矩形框与工作台固定连接，所述刷板上端右侧设置有卡板，所述矩形框内部设置有滑块，所述刷板下端与背光源组件上端滑动连接，所述滑块右端设置有连接杆，所述电机架内部设置有工作电机，所述卡板下端与刷板上端固定连接，所述工作电机右端设置有椭圆板，所述工作电机的传动轴通过连接键与椭圆板固定连接，所述电机架左端设置有控制器。

优选的，所述矩形框内部开设有矩形空腔，所述滑块通过矩形空腔与矩形框内壁滑动连接，所述卡板右端与滑块左侧上端固定连接。

优选的，所述工作台右端开设有矩形槽孔，所述连接杆通过矩形槽孔与工作台右端内壁滑动连接。

优选的，所述连接杆上端通过轴与滑块右端转动连接，所述连接杆下端通过轴与椭圆板右端转动连接。

优选的，所述定位块的设置个数为四个，且四个所述定位块均两个为一组分别设置在工作板的左端与前端位置处，所述定位块内部上端设置有螺栓，所述定位块与工作板上端滑动连接。

优选的，所述立杆的设置个数为四个，且四个所述立杆分别设置在工作台下方的四个拐角位置处，所述立杆上端与工作台下端固定连接。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：