[实用新型]晶圆电镀阴极挂具移动设备

权利要求书

1.一种晶圆电镀阴极挂具移动设备，其特征在于：包括直线移动机构(1)、夹爪(2)、夹持固定板(3)、卡条(4)、定位件(5)和晶圆治具(6)，所述夹爪(2)的缸体固定在直线移动机构(1)的升降部上，夹爪(2)的两个手指上分别固定有两个夹持固定板(3)，卡条(4)和定位件(5)固定在夹持固定板(3)上，晶圆治具(6)上设有用于嵌入卡条(4)的卡槽(7)，晶圆治具(6)上设有用于穿过定位件(5)的穿孔(8)。

2.根据权利要求1所述的晶圆电镀阴极挂具移动设备，其特征在于：所述卡条(4)的材质为橡胶或硅胶，夹持固定板(3)上设有数条相互平行的卡条(4)，晶圆治具(6)上设有数条相互平行的卡槽(7)，卡条(4)与卡槽(7)相互平行。

3.根据权利要求1所述的晶圆电镀阴极挂具移动设备，其特征在于：所述定位件(5)由排列在一条直线上的数个销子组成，销子垂直固定在夹持固定板(3)的平面上。

4.根据权利要求1所述的晶圆电镀阴极挂具移动设备，其特征在于：所述直线移动机构(1)为线性模组或动力缸。