[实用新型]一种分子束外延用蒸发坩埚有效
| 申请号： | 202121368177.9 | 申请日： | 2021-06-18 |
| 公开（公告）号： | CN216473577U | 公开（公告）日： | 2022-05-10 |
| 发明（设计）人： | 卢灿忠;陈旭林;张孝文;陶晓栋 | 申请（专利权）人： | 厦门稀土材料研究所 |
| 主分类号： | C30B23/02 | 分类号： | C30B23/02 |
| 代理公司： | 北京元周律知识产权代理有限公司 11540 | 代理人： | 史冬梅 |
| 地址： | 361021 福建*** | 国省代码： | 福建;35 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 分子 外延 蒸发 坩埚 | ||
【权利要求书】：
1.一种分子束外延用蒸发坩埚，其特征在于，包括一端开口的中空柱状坩埚主体；
所述坩埚主体相对的内侧壁之间的垂直距离与所述坩埚主体的直径之间的比例为1:3～10。
2.根据权利要求1所述的分子束外延用蒸发坩埚，其特征在于，所述坩埚主体为圆柱状。
3.根据权利要求1所述的分子束外延用蒸发坩埚，其特征在于，所述坩埚主体的材质为石英。
4.根据权利要求1所述的分子束外延用蒸发坩埚，其特征在于，所述坩埚主体的材质为热解氮化硼。
5.根据权利要求1所述的分子束外延用蒸发坩埚，其特征在于，还包括固定耳；
所述固定耳设置于所述坩埚主体的外侧壁，用于将所述坩埚主体固定于支架上。
6.根据权利要求5所述的分子束外延用蒸发坩埚，其特征在于，所述固定耳设置于所述坩埚主体的开口端。
7.根据权利要求6所述的分子束外延用蒸发坩埚，其特征在于，所述固定耳与所述坩埚主体一体成型。
8.根据权利要求1～7任一项所述的分子束外延用蒸发坩埚，其特征在于，所述坩埚主体相对的内侧壁之间的垂直距离与所述坩埚主体的直径之间的比例为1:7。
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