[实用新型]一种光学用玻璃方棒的安装及调整结构有效

专利信息
申请号: 202121375376.2 申请日: 2021-06-21
公开(公告)号: CN215116931U 公开(公告)日: 2021-12-10
发明(设计)人: 刘宝金;于福来;刘涛;张昌清 申请(专利权)人: 浙江津芯微电子科技有限公司
主分类号: G02B7/00 分类号: G02B7/00;G03F7/20
代理公司: 亳州速诚知识产权代理事务所(普通合伙) 34157 代理人: 艾玲
地址: 311121 浙江省杭州市余*** 国省代码: 浙江;33
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摘要:
搜索关键词: 一种 光学 玻璃 安装 调整 结构
【说明书】:

实用新型涉及玻璃方棒的安装及调整结构技术领域,尤其为一种光学用玻璃方棒的安装及调整结构,包括底板,所述底板上侧滑动连接有立板,所述立板下侧前后两端中间位置处均固定连接有第一滑块,本实用新型通过设置的齿轮和第一螺纹轴,在进行方棒的角度位置微调时,转动轴座通过限位块带着方棒轴一同转动调整方棒的角度,同时弹簧推动卡块插入齿轮的凹槽内,限制齿轮的继续转动从而固定方棒的位置,再转动第一螺纹轴推动第一滑块和立板带动轴座左右移动,然后转动第二螺纹轴推动第二滑块和固定板带动轴座上下移动,最后转动第三螺纹轴推动第三滑块带动轴座前后移动,从而对方棒的位置进行微调,方便了方棒后期使用位置和角度的微调。

技术领域

本实用新型涉及玻璃方棒的安装及调整结构技术领域,具体为一种光学用玻璃方棒的安装及调整结构。

背景技术

激光直接成像光刻技术综合了高功率激光光纤耦合技术和以数字微镜器件为基础的图像扫描技术,是一项先进的激光动态成像技术LDI,LDI是直接利用CAM工作站输出的数据,驱动激光成像装置,在涂覆有光致抗蚀剂的印制电路板上进行图像成像,目前,直写式光刻机设备照明系统采用方棒将激光光源输出,因为方棒的外形为细小的长条状,在安装和后期使用调整中存在一些困难,而且方棒不方便进行安装。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种光学用玻璃方棒的安装及调整结构,以解决上述背景技术中提出的问题。

为实现上述目的,本实用新型提供如下技术方案:

一种光学用玻璃方棒的安装及调整结构,包括底板,所述底板上侧滑动连接有立板,所述立板下侧前后两端中间位置处均固定连接有第一滑块,且第一滑块贯穿底板,所述第一滑块内侧中间位置处螺旋连接有第一螺纹轴,且第一螺纹轴贯穿第一滑块,所述第一螺纹轴与底板转动连接,所述立板内侧上端转动连接有第二螺纹轴,所述第二螺纹轴外侧中间位置处螺旋连接有第二滑块,且第二螺纹轴贯穿第二滑块,所述第二滑块与立板滑动连接,且第二滑块贯穿立板,所述第二螺纹轴下端转动连接有滚珠,且滚珠贯穿第二螺纹轴,所述滚珠与立板转动连接,所述第二滑块左端固定连接有固定板,且固定板与立板滑动连接,所述固定板内侧滑动连接有第三滑块,且第三滑块贯穿固定板,所述第三滑块内侧螺旋连接有第三螺纹轴,且第三螺纹轴贯穿第三滑块和固定板,所述第三螺纹轴与固定板转动连接,所述第三滑块左端固定连接有轴座,且轴座与固定板滑动连接,所述轴座内侧滑动连接有方棒轴,且方棒轴贯穿轴座,所述方棒轴内侧滑动连接有方棒,所述方棒前端固定连接有固定块,且固定块贯穿方棒轴,所述固定块与方棒轴滑动连接,所述方棒轴后端固定连接有限位块,所述限位块外侧滑动连接有齿轮,且限位块贯穿齿轮,所述齿轮与轴座转动连接,所述齿轮外侧滑动连接有卡块,且卡块的凸块贯穿轴座,所述卡块与轴座滑动连接,所述卡块的凸块外侧固定连接有弹簧,且弹簧另一端与轴座固定连接。

优选的,所述第一螺纹轴右端固定连接有轴承,且轴承与底板固定连接,所述第一螺纹轴贯穿轴承。

优选的,所述第一滑块内侧前后两端均转动连接有滚轮,且滚轮与底板转动连接,所述滚轮贯穿第一滑块。

优选的,所述第一螺纹轴的左端形状和第二螺纹轴的上端形状均为六棱柱形设置,所述第一螺纹轴的数量、第二螺纹轴的数量和第二滑块的数量均有2个。

优选的,所述固定块是由不锈钢材质的管材制成,所述固定块外侧前端设有半球形凸块。

优选的,所述限位块的形状为四棱柱形设置,所述限位块是由合金钢材质的管材制成,所述限位块外侧后端为弧形设置。

与现有技术相比,本实用新型的有益效果是:

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