[实用新型]一种用于双平台气路控制改进结构有效
| 申请号： | 202121385630.7 | 申请日： | 2021-06-22 |
| 公开（公告）号： | CN215908867U | 公开（公告）日： | 2022-02-25 |
| 发明（设计）人： | 李伟;张磊;张立;刘涛;张昌清 | 申请（专利权）人： | 浙江津芯微电子科技有限公司 |
| 主分类号： | F17D1/02 | 分类号： | F17D1/02;F17D3/01;F04D29/40 |
| 代理公司： | 亳州速诚知识产权代理事务所(普通合伙) 34157 | 代理人： | 艾玲 |
| 地址： | 311121 浙江省杭州市余*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 用于 平台 控制 改进 结构 | ||
【权利要求书】：
1.一种用于双平台气路控制改进结构，包括左平台(1)和右平台(2)，其特征在于：所述左平台(1)外侧通过导管固定连接有真空阀一(3)，所述真空阀一(3)输入端通过导管固定连接有电磁阀一(4)，所述电磁阀一(4)外侧通过导管固定连接有压力表(5)，所述压力表(5)输入端固定连接有外部气路(6)，所述真空阀一(3)输出端通过导管固定连接有鼓风机(7)。
2.根据权利要求1所述的一种用于双平台气路控制改进结构，其特征在于：所述右平台(2)外侧通过导管固定连接有真空阀三(8)，所述真空阀三(8)输入端通过导管固定连接有电磁阀三(9)，所述电磁阀三(9)输入端通过导管与压力表(5)固定连接。
3.根据权利要求2所述的一种用于双平台气路控制改进结构，其特征在于：所述真空阀三(8)外侧通过导管与真空阀一(3)和鼓风机(7)均固定连接。
4.根据权利要求1所述的一种用于双平台气路控制改进结构，其特征在于：所述压力表(5)外侧通过导管固定连接有电磁阀二(10)，所述电磁阀二(10)输出端通过导管固定连接有真空阀二(11)，所述真空阀二(11)输出端通过导管与鼓风机(7)固定连接。
5.根据权利要求4所述的一种用于双平台气路控制改进结构，其特征在于：所述真空阀二(11)输出端通过导管均与真空阀一(3)和真空阀三(8)固定连接。
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