[实用新型]一种大尺寸蓝宝石板材导模法生长装置有效

专利信息
申请号: 202121389863.4 申请日: 2021-06-22
公开(公告)号: CN217351616U 公开(公告)日: 2022-09-02
发明(设计)人: 李东振;王东海;徐军 申请(专利权)人: 南京同溧晶体材料研究院有限公司
主分类号: C30B15/34 分类号: C30B15/34;C30B29/20
代理公司: 深圳国联专利代理事务所(特殊普通合伙) 44465 代理人: 汪丽丽
地址: 211200 江苏*** 国省代码: 江苏;32
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摘要:
搜索关键词: 一种 尺寸 蓝宝石 板材 导模法 生长 装置
【权利要求书】:

1.一种大尺寸蓝宝石板材导模法生长装置,包括炉体(9),其特征在于,所述炉体(9)两侧相对开门结构,采用板状石墨加热器(1),石墨硬毡(2)作为保温材料,整体热场为双温区结构,圆形坩埚(4)四周有四片板状石墨加热器(1),为主加热区,在蓝宝石板材(5)大面平行的两侧设有后加热器,主加热和后加热温区由石墨硬毡(2)作为隔热屏将两者隔开,隔热屏水平放置于坩埚盖(3)上部且位于模具(6)两侧。

2.根据权利要求1所述的一种大尺寸蓝宝石板材导模法生长装置,其特征在于,所述的主加热区和后加热区可分别独立控制。

3.根据权利要求1所述的一种大尺寸蓝宝石板材导模法生长装置,其特征在于,所述的模具(6)为两片平面板拼接结构,模具(6)宽度250-450mm,厚度8-30mm,高度40-150mm,中间毛细缝宽度0.2-2mm,模具(6)顶部为90-180度夹角。

4.根据权利要求1所述的一种大尺寸蓝宝石板材导模法生长装置,其特征在于,所述的蓝宝石板材(5)大面为A面,提拉方向为M向或C向,蓝宝石板材长度400-1000mm。

5.根据权利要求1所述的一种大尺寸蓝宝石板材导模法生长装置,其特征在于,所述的坩埚(4)材料为钼、钨、铱或铼。

6.根据权利要求1所述的一种大尺寸蓝宝石板材导模法生长装置,其特征在于,所述的模具(6)材质为钼、钨、铱或铼。

7.根据权利要求1所述的一种大尺寸蓝宝石板材导模法生长装置,其特征在于,所述炉体(9)为长方体。

8.根据权利要求1所述的一种大尺寸蓝宝石板材导模法生长装置,其特征在于,所述坩埚(4)与炉体(9)的内底部通过坩埚支撑杆(8)固定连接。

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