[实用新型]一种大尺寸蓝宝石板材导模法生长装置有效
申请号: | 202121389863.4 | 申请日: | 2021-06-22 |
公开(公告)号: | CN217351616U | 公开(公告)日: | 2022-09-02 |
发明(设计)人: | 李东振;王东海;徐军 | 申请(专利权)人: | 南京同溧晶体材料研究院有限公司 |
主分类号: | C30B15/34 | 分类号: | C30B15/34;C30B29/20 |
代理公司: | 深圳国联专利代理事务所(特殊普通合伙) 44465 | 代理人: | 汪丽丽 |
地址: | 211200 江苏*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 尺寸 蓝宝石 板材 导模法 生长 装置 | ||
1.一种大尺寸蓝宝石板材导模法生长装置,包括炉体(9),其特征在于,所述炉体(9)两侧相对开门结构,采用板状石墨加热器(1),石墨硬毡(2)作为保温材料,整体热场为双温区结构,圆形坩埚(4)四周有四片板状石墨加热器(1),为主加热区,在蓝宝石板材(5)大面平行的两侧设有后加热器,主加热和后加热温区由石墨硬毡(2)作为隔热屏将两者隔开,隔热屏水平放置于坩埚盖(3)上部且位于模具(6)两侧。
2.根据权利要求1所述的一种大尺寸蓝宝石板材导模法生长装置,其特征在于,所述的主加热区和后加热区可分别独立控制。
3.根据权利要求1所述的一种大尺寸蓝宝石板材导模法生长装置,其特征在于,所述的模具(6)为两片平面板拼接结构,模具(6)宽度250-450mm,厚度8-30mm,高度40-150mm,中间毛细缝宽度0.2-2mm,模具(6)顶部为90-180度夹角。
4.根据权利要求1所述的一种大尺寸蓝宝石板材导模法生长装置,其特征在于,所述的蓝宝石板材(5)大面为A面,提拉方向为M向或C向,蓝宝石板材长度400-1000mm。
5.根据权利要求1所述的一种大尺寸蓝宝石板材导模法生长装置,其特征在于,所述的坩埚(4)材料为钼、钨、铱或铼。
6.根据权利要求1所述的一种大尺寸蓝宝石板材导模法生长装置,其特征在于,所述的模具(6)材质为钼、钨、铱或铼。
7.根据权利要求1所述的一种大尺寸蓝宝石板材导模法生长装置,其特征在于,所述炉体(9)为长方体。
8.根据权利要求1所述的一种大尺寸蓝宝石板材导模法生长装置,其特征在于,所述坩埚(4)与炉体(9)的内底部通过坩埚支撑杆(8)固定连接。
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