[实用新型]一种硅片片盒离子提取装置

权利要求书

1.一种硅片片盒离子提取装置，其特征在于，包括：电控柜（1）、X轴旋转轴（2）、Z轴旋转轴（3）、夹持装置（4）与机架（5），其中夹持装置（4）包含有气缸组件、夹具及片盒卡座等部件，夹持装置（4）固定于所述Z轴旋转轴（3）上； Z轴旋转轴（3）固定在X轴旋转轴（2）上，Z轴旋转轴（3）与电控柜（1）所控制的伺服电机b相连接； X轴旋转轴（2）通过电控柜（1）所控制的伺服电机a相连接。

2.根据权利要求1所述的硅片片盒离子提取装置，其特征在于，所述X轴旋转轴（2）、所述Z轴旋转轴（3）和所述机架（5）均采用304不锈钢材料制成，所述电控柜（1）和所述夹持装置（4）中的气缸组件也采用304不锈钢材料制成，夹持装置（4）中所述的夹具和片盒卡座的材料采用优质硅橡胶及PP塑料材质制成。

3.根据权利要求1所述的硅片片盒离子提取装置，其特征在于，所述X轴旋转轴（2）可以以0-40°/秒的区间转速在0-360°的转角范围内转动，所述Z轴旋转轴（3）可以以0-40°/秒的区间转速在0-360°的转角范围内转动。

4.根据权利要求1所述的硅片片盒离子提取装置，其特征在于，所述夹持装置（4）的片盒卡座设置有300mm和200mm两种片盒卡座，300mm片盒卡座对应位置上有两个导柱，200mm片盒卡座上有两个导槽，以达到兼容两种片盒卡座；300mm片盒卡座为固定式，其固定在所述夹持装置（4）内；200mm片盒卡座为可拆式，其可放置于300mm片盒卡座内；当需要提取300mm硅片片盒离子时，只需将300mm片盒放置在300mm片盒卡座内即可；当需要提取200mm硅片片盒离子时，需先将200mm片盒卡座放置于300mm片盒卡座内部后，再将200mm硅片片盒放置在200mm片盒卡座内。

5.根据权利要求1所述的硅片片盒离子提取装置，其特征在于，在硅片片盒需要上样时，通过所述电控柜（1）的复位功能，可以根据不同片盒类型上样时所需的上样角度以X轴相对垂直面±90°范围内对所述夹持装置（4）进行调整；不同硅片片盒在选择对应提取方法时，当选择后，所述电控柜（1）的触控显示屏中会呈现出该提取方法；在硅片片盒离子提取过程中，安全门一旦被打开则会出现报警提示，提取装置的运动部件全部停止工作以保证安全。