[实用新型]扩散泵散热装置

权利要求书

1.一种扩散泵散热装置，其特征在于，包括扩散泵和风扇，所述扩散泵包括柱状泵体，所述泵体的顶部设置有进气口，所述泵体的侧面设置有排气口，所述泵体的底部腔内设置有加热器，所述风扇固定安装于所述扩散泵的底部，且所述风扇的出风面与所述扩散泵的底面相对。

2.根据权利要求1所述的扩散泵散热装置，其特征在于，还包括温度传感器和风扇控制器，所述温度传感器设置于所述扩散泵的泵体一侧，所述温度传感器与所述风扇控制器的输入端相连接，所述风扇控制器的输出端与所述风扇的控制开关相连接。

3.根据权利要求2所述的扩散泵散热装置，其特征在于，所述风扇控制器的输入端还连接于扩散泵控制器。

4.根据权利要求3所述的扩散泵散热装置，其特征在于，所述温度传感器设置于所述泵体的底部的侧壁。

5.根据权利要求2所述的扩散泵散热装置，其特征在于，所述温度传感器包括第一温度传感器和第二温度传感器，所述第一温度传感器设置于所述泵体的底部的侧壁，所述第二温度传感器设置于所述泵体的上部的侧壁。

6.根据权利要求1所述的扩散泵散热装置，其特征在于，所述风扇为与所述泵体的底部形状相匹配的柱状风扇，且所述风扇的外径等于所述泵体的外径。

7.根据权利要求1所述的扩散泵散热装置，其特征在于，所述风扇包括风扇支架，所述风扇支架包括外环部、内环部和在所述外环部和所述内环部之间均匀分布的扇叶，所述扇叶相对于所述外环部可旋转，所述外环部的上表面与所述扩散泵的底面相对。

8.根据权利要求7所述的扩散泵散热装置，其特征在于，所述外环部的上表面分布有多个固定件，所述外环部通过所述固定件固定于所述扩散泵的底面。

9.根据权利要求8所述的扩散泵散热装置，其特征在于，所述固定件为螺栓、螺钉或铆钉。