[实用新型]一种带有输氧装置的蚀刻槽有效
| 申请号： | 202121400465.8 | 申请日： | 2021-06-23 |
| 公开（公告）号： | CN215103566U | 公开（公告）日： | 2021-12-10 |
| 发明（设计）人： | 任忠平;尹国钦;陈绍文;卞海刚;蒋晶晶 | 申请（专利权）人： | 宁波福至新材料有限公司 |
| 主分类号： | C23F1/08 | 分类号： | C23F1/08 |
| 代理公司： | 上海泰能知识产权代理事务所(普通合伙) 31233 | 代理人： | 王亮;孙健 |
| 地址： | 315800 浙江省*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 带有 输氧 装置 蚀刻 | ||
【权利要求书】：
1.一种带有输氧装置的蚀刻槽，其特征在于：包括蚀刻槽本体(1)、槽体(2)和放置座(3)，所述的蚀刻槽本体(1)上端面设置有槽体(2)，所述的槽体(2)底面中部设置有放置座(3)，放置座(3)端面中部以及四角处均设置有输气管(4)，所述的蚀刻槽本体(1)下端面中部设置有与放置座(3)对接的对接块(7)，所述的对接块(7)前侧设置有接头(8)。
2.根据权利要求1所述的一种带有输氧装置的蚀刻槽，其特征在于：所述的蚀刻槽本体(1)下端面两端设置有支脚(5)。
3.根据权利要求1所述的一种带有输氧装置的蚀刻槽，其特征在于：所述的放置座(3)内设置有第一内腔(11)，所述的对接块(7)内设置有第二内腔(6)，所述的第一内腔(11)和第二内腔(6)连通。
4.根据权利要求1所述的一种带有输氧装置的蚀刻槽，其特征在于：所述的放置座(3)上安装有蚀刻工装(9)，所述的蚀刻工装(9)上设置有与输气管(4)匹配的定位孔。
5.根据权利要求4所述的一种带有输氧装置的蚀刻槽，其特征在于：所述的蚀刻工装(9)上端面上设置有呈对称布置的放置槽(10)。
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