[实用新型]复合多孔过滤膜及过滤器

说明书

本实用新型涉及复合多孔过滤膜及过滤器。本实用新型提供可用于从液体去除各种杂质的特定复合膜。在某些方面，所述复合膜包括其上涂有聚酰胺的疏水性聚合物，且在其它方面，此类复合膜上面涂有某些丙烯酸聚合物。所述复合膜可用于去除液体中的各种杂质，例如工业和生命科学过程中遇到的那些杂质。

技术领域

本实用新型涉及包含多孔聚合物过滤器的复合过滤介质或膜，所述多孔聚合物过滤器已涂有包括聚酰胺聚合物的层。

背景技术

过滤器产品为用以从适用流体流去除非所需材料的现代工业的必不可少的工具。使用过滤器进行处理的适用流体包含水、液体工业溶剂和处理流体、用于制造或处理(例如，半导体制造)的工业气体，以及具有医疗或医药上的用途的液体。从流体去除的非所需材料包含杂质和污染物，例如粒子、微生物和经溶解化学物质。过滤器应用的特定实例包含其与液体材料一起用于半导体和微电子装置制造。

为执行过滤功能，过滤器包含括过滤膜，所述过滤膜负责从穿过过滤膜的流体去除非所需材料。根据需要，过滤膜可呈扁平薄片形式，其可为卷绕(例如，成螺旋状)、扁平、褶状或圆盘形的。过滤膜可替代地呈中空纤维的形式。过滤膜可容纳于壳体内或以其它方式支撑，使得所过滤流体经由过滤器入口进入且需要在通过过滤器出口之前穿过过滤膜。

过滤膜可由多孔结构构成，所述多孔结构具有可基于过滤器的使用，即由过滤器执行的过滤的类型而选择的平均孔径。典型孔径在微米或亚微米范围内，例如约0.001微米到约10微米。有时将平均孔径为约0.001到约0.05微米的膜分类为超滤膜。有时将孔径在约0.05与10微米之间的膜称为微孔膜。

具有微米或亚微米孔径的过滤膜可有效地通过筛分机构或非筛分机构或通过这两者从流体流去除非所需材料。筛分机构为一种过滤模式，利用所述过滤模式，通过粒子在过滤膜的表面处的机械滞留而将粒子从液体流去除，这用于以机械方式干涉粒子的移动且将粒子保留在过滤器内，从而以机械方式防止粒子流过过滤器。通常，粒子可大于过滤器的孔隙。“非筛分”过滤机构为一种过滤模式，通过所述过滤模式，过滤膜以不完全机械性的方式保持流体流中所含有的悬浮粒子或溶解材料穿过过滤膜，所述方式例如包含静电机构，通过所述静电机构，粒子或溶解杂质被静电吸引到过滤器表面且保持在过滤器表面处且从流体流去除；粒子可溶解，或可为粒度小于过滤介质的孔隙的固体。

从溶液去除例如溶解阴离子或阳离子的离子材料在许多行业，例如微电子行业中是重要的，其中极小浓度的离子污染物和粒子可能对微处理器和存储器装置的品质和性能产生不利影响。制备具有低含量的金属离子污染物的正性和负性光致抗蚀剂的能力，或递送在Maragoni干燥中使用以用于金属离子污染物含量低至十亿分之一或万亿分之一的晶片清洗的异丙醇的能力极合乎需要，且其仅为在半导体制造中用于污染物控制的需求的两个实例。取决于胶体化学物质和溶液pH，胶体粒子可带正电或带负电，还可污染处理液体而需要去除。通过由吸引溶解离子材料的聚合材料制成的微孔过滤膜，可借助于非筛分过滤机构去除溶解离子材料。此类由化学上呈惰性的、低表面能聚合物制成的微孔膜的实例比如超高分子量聚乙烯(“UPE”)、聚四氟乙烯等。确切地说，由于尼龙能形成具有高渗透率的过滤膜且由于尼龙的良好筛分和非筛分过滤表现，尼龙过滤膜用于半导体处理行业中的多种不同过滤应用。

实用新型内容

微电子装置处理领域需要处理材料和方法的稳定改进以维持微电子装置性能(例如，速度和可靠性)的并行的稳定改进。在制造过程的所有方面中均存在改进微电子装置制造的机会，包含用于过滤液体材料的方法和系统。