[实用新型]一种用于弧周缺陷检测的显微光学系统有效
申请号: | 202121412383.5 | 申请日: | 2021-06-24 |
公开(公告)号: | CN215339557U | 公开(公告)日: | 2021-12-28 |
发明(设计)人: | 王馨莹;李伟;刘欣;孟鹏飞;王福旺;李立锋;宋思儒;林涛;陶平;田永军 | 申请(专利权)人: | 北京兆维电子(集团)有限责任公司 |
主分类号: | G01N21/89 | 分类号: | G01N21/89;G01N21/892;G02B21/36 |
代理公司: | 北京轻创知识产权代理有限公司 11212 | 代理人: | 朱晓彤 |
地址: | 100015 *** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 用于 缺陷 检测 显微 光学系统 | ||
本实用新型涉及一种用于弧周缺陷检测的显微光学系统,包括驱动单元、成像旋转单元和无限远成像单元,驱动单元固定设置,用于带动待检测的产品绕竖直设置的轴水平转动,成像旋转单元和无限远成像单元架设在驱动单元的上方;无限远成像单元对产品进行成像,成像旋转单元用于在产品成像时旋转图像。本实用新型的有益效果是实现孔区弧周缺陷检测,同时克服矩形视野采集弧形目标时检测区域位置大小、重复区域不固定的缺点,光学检测的效率大大提高,且检测更为全面,检测的效果较佳。
技术领域
本实用新型涉及表面缺陷检测技术领域,具体涉及一种用于弧周缺陷检测的显微光学系统。
背景技术
以柔性显示为代表的有机发光二极管(OLED-Organic Light-Emitting Diode)显示技术越来越普遍,在手机、媒体播放器及小型入门级电视等产品中最为显著,随着人们对屏占比越来越高的要求,全面屏应运而生。前置摄像头闪光灯或扬声器等各种前置功能不得不进入显示区域中,从而出现了全面屏挖孔技术。孔周质量影响孔周像素显示,一旦出现微小的裂纹或其他缺陷,出现更大范围的亮暗缺陷只是时间问题。因此一块全面屏必须要对孔区进行亚微米级缺陷检测,但孔区会有完整或部分的弧形区域,矩形靶面的各类相机在光学检测时往往只能对弧形区域进行交叠覆盖。这种方法因检区域在成像中大小、位置各不相同,由于产品放置位置的微小差别甚至还会出现无效图像,缺陷检测的效果和效率大打折扣。
实用新型内容
本实用新型所要解决的技术问题是提供一种用于弧周缺陷检测的显微光学系统,旨在解决现有技术中的问题。
本实用新型解决上述技术问题的技术方案如下:
一种用于弧周缺陷检测的显微光学系统,包括驱动单元、成像旋转单元和无限远成像单元,所述驱动单元固定设置,用于带动待检测产品的绕竖直设置的轴水平转动,所述成像旋转单元和所述无限远成像单元架设在所述驱动单元的上方;所述无限远成像单元对所述产品进行成像,所述成像旋转单元用于在所述产品成像时旋转图像。
本实用新型的有益效果是:检测过程中,首先,手动将待检测的产品置于驱动单元上,驱动单元带动产品旋转,使得产品做圆周运动;然后,产品自身产生的光线经无限远成像单元进行成像;同时,成像旋转单元使得产品成像的图像旋转,以全面采集产品图像,提高产品检测的效果。本实用新型实现孔区弧周缺陷检测,同时克服矩形视野采集弧形目标时检测区域位置大小、重复区域不固定的缺点,光学检测的效率大大提高,且检测更为全面,检测的效果较佳。
在上述技术方案的基础上,本实用新型还可以做如下改进。
进一步,所述无限远成像单元包括无限远显微物镜和成像装置,所述无限远显微物镜和所述成像装置从下至上间隔架设在所述驱动单元的上方,所述无限远显微物镜用于将所述产品产生的光线形成平行光,再由所述成像装置成像;所述成像旋转单元位于所述无限远显微物镜和所述成像装置之间。
采用上述进一步方案的有益效果是检测过程中,产品自身产生的光线经无限远显微物镜形成平行光,再由成像装置成像,成像的效果更佳,以提高产品缺陷检测的效果。
进一步,所述无限远成像单元还包括自动对焦装置,所述自动对焦装置固定设置,用于驱动所述无限远显微物镜上下移动。
采用上述进一步方案的有益效果是检测过程中,通过自动对焦装置驱动无限远显微物镜上下移动,以满足不同产品的成像要求,适用范围更广。
进一步,所述成像装置包括成像筒镜和相机组件,所述成像筒镜和相机组件从下至上间隔固定安装在所述成像旋转单元的上方,且所述成像筒镜与所述无限远显微物镜同轴设置。
采用上述进一步方案的有益效果是检测过程中,产品产生的光线经过无限远显微物镜形成平行光后,再由成像筒镜聚焦成像到相机组件的靶面,相机组件输出图像,使得产品能够更好的成像于相机组件,提高成像的效果,进而提高检测的效果。
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