[实用新型]一种应用在真空镀膜设备上的双驱动转盘系统

权利要求书

1.一种应用在真空镀膜设备上的双驱动转盘系统，包括设置在真空室（1）内部的下转盘（5），其特征在于：所述下转盘（5）上转动设置有若干组、沿同一圆周竖向布置的自转轴（3），自转轴（3）上设置有工件挂具（18），且自转轴（3）的上端分别与下转盘（5）上方设置的上转盘（2）转动相连，所述上转盘（2）与下转盘（5）之间还通过支撑立杆（4）固定相连；所述自转轴（3）上、穿过下转盘（5）的下端，分别设置有用于带动自转轴（3）旋转的小齿轮（6），并且，所述小齿轮（6）分别与下转盘（5）下方设置的自转大齿轮（7）的外齿相啮合；所述自转大齿轮（7）中部的下侧设置有空芯主轴（9），空芯主轴（9）与真空室（1）底部固定设置的主轴轴承座（10）转动相连，所述空芯主轴（9）的下端部设置有空芯轴从动齿轮（13），空芯轴从动齿轮（13）与大齿轮驱动电机（15）输出端设置的空芯轴主动齿轮（14）相啮合；同时，所述下转盘（5）中部的转盘主轴（8）穿过空芯主轴（9）的中部通腔，且转盘主轴（8）的下端，通过联轴器（12）与转盘驱动电机（11）的输出端相连。

2.根据权利要求1所述的应用在真空镀膜设备上的双驱动转盘系统，其特征在于：所述空芯轴主动齿轮（14）的齿轮轴的一端，通过联轴器（12）与大齿轮驱动电机（15）的输出端相连，空芯轴主动齿轮（14）的齿轮轴的另一端，则通过主动齿轮轴承座（20）与主轴轴承座（10）上设置的连接支架（16）相连。

3.根据权利要求1所述的应用在真空镀膜设备上的双驱动转盘系统，其特征在于：所述主轴轴承座（10）与空芯主轴（9）之间设置有两组外圈轴承（22），外圈轴承（22）之间设置有外圈磁流体密封（23）；所述空芯主轴（9）与转盘主轴（8）之间设置有两组内圈轴承（24），内圈轴承（24）之间设置有内圈磁流体密封（25）。

4.根据权利要求1所述的应用在真空镀膜设备上的双驱动转盘系统，其特征在于：所述自转轴（3）的下端分别通过转轴旋转座（21），与下转盘（5）外沿圆周上的通孔相连；且自转轴（3）端部与转轴旋转座（21）之间还设置有转动轴承。

5.根据权利要求1所述的应用在真空镀膜设备上的双驱动转盘系统，其特征在于：所述下转盘（5）、自转大齿轮（7）和小齿轮（6）的外侧，设置有转盘屏蔽罩（17）。