[实用新型]一种晶圆棒中空石英焊接治具

权利要求书

1.一种晶圆棒中空石英焊接治具，包括固定底座(9)，石英固定组件和石英管(2)；

其特征在于，

所述固定底座(9)呈直角设置，承载石英管(2)及石英固定组件；

所述石英固定组件包括设置在所述固定底座(9)顶部的石英定位块(1)，设置在所述固定底座(9)垂直面的压板(3)及石英支撑杆(6)；所述石英定位块(1)和压板(3)配合将所述石英管(2)固定在所述固定底座(9)的垂直面上；所述固定底座(9)的水平面上还固定设置有石墨(4)；所述石墨(4)固定设置在所述石英管(2)的正下方；所述石英支撑杆(6)固定设置在所述石墨(4)上表面，支撑所述石英管(2)的端部，配合石英定位块(1)和压板(3)固定石英管(2)。

2.根据权利要求1所述的晶圆棒中空石英焊接治具，其特征在于：还包括固定板(8)；所述固定板(8)固定设置在所述固定底座(9)的垂直面上。

3.根据权利要求2所述的晶圆棒中空石英焊接治具，其特征在于：所述固定板(8)的顶部还设置有凹槽；所述石英定位块(1)设置在所述凹槽内。

4.根据权利要求3所述的晶圆棒中空石英焊接治具，其特征在于：还包括有压板座(7)；所述压板座(7)设置在所述固定板(8)的远离凹槽的端部；所述压板(3)固定在所述压板座(7)上；所述压板座(7)还设置有圆弧凹面，与压板(3)配合固定石英管(2)。

5.根据权利要求4所述的晶圆棒中空石英焊接治具，其特征在于：所述石英支撑杆(6)设置有三个；三个所述石英支撑杆(6)以所述石英管(2)为圆心呈圆周均布。

6.根据权利要求5所述的晶圆棒中空石英焊接治具，其特征在于：还包括有定位块(5)；所述定位块(5)设置在石墨(4)的上表面，与所述石英支撑杆(6)配合。

7.根据权利要求6所述的晶圆棒中空石英焊接治具，其特征在于：所述压板(3)通过螺栓固定在所述压板座(7)上。