[实用新型]一种具有水冷结构的真空管道

说明书

本实用新型涉及真空管道技术领域，具体为一种具有水冷结构的真空管道，包括真空管体，真空管体的顶部设有冷却箱，冷却箱位于所述真空管体的顶部内侧，冷却箱的顶部左右两侧设有两个注水连接管。该具有水冷结构的真空管道通过顶部内侧设有的冷却箱以及内壁环绕的水冷管道对真空管道内部进行有效冷却，且通过外部设有的保温罩与承压保护罩，有效的对管体进行保护，解决了现有的真空管道缺少冷却机构，使得管道在长期工作时得不到有效散热，容易产生危险，传统的水冷机构对管道进行冷却后，温度得不到有效保持，缺少防护设置，使得工作效率降低的问题。

技术领域

本实用新型涉及真空管道技术领域，具体为一种具有水冷结构的真空管道。

背景技术

在半导体和液晶行业的发展中，在制造过程中需要含有大量半导体设备真空结构和真空室，而半导体设备真空管道在半导体长期使用工作时，由于缺少有效的散热设置，导致管道使用寿命较短，需要长期频繁的进行更换；

在对真空管道进行使用时，由于管道内部呈中空状态，导致温度过热容易发生爆炸，需要对管道进行有效降温，现有的真空管道缺少冷却机构，使得管道在长期工作时得不到有效散热，容易产生危险，传统的水冷机构对管道进行冷却后，温度得不到有效保持，缺少防护设置，使得工作效率降低，鉴于此，我们提出一种具有水冷结构的真空管道。

实用新型内容

为了弥补以上不足，本实用新型提供了一种具有水冷结构的真空管道。

本实用新型的技术方案是：

一种具有水冷结构的真空管道，包括真空管体，所述真空管体的顶部设有冷却箱，所述冷却箱位于所述真空管体的顶部内侧，所述冷却箱的顶部左右两侧设有两个注水连接管，所述注水连接管位于所述真空管体的顶部外侧表面，所述冷却箱的底部连通有呈环形的等间距均匀分布的若干水冷管道，所述水冷管道位于所述真空管体的内侧表面。

作为优选的技术方案，所述冷却箱与所述真空管体的外侧连接处设有承压保护罩，所述承压保护罩设置有两个，且分别位于所述冷却箱的前后两侧，所述承压保护罩的内部滑动连接有保温罩。

作为优选的技术方案，所述承压保护罩的内侧均设有呈等间距均匀分布的若干橡胶防滑垫圈，所述承压保护罩的表面固定连接有把手。

作为优选的技术方案，所述保温罩的内侧设有呈等间距均匀分布的防滑板，所述保温罩的内壁上设有保温层。

作为优选的技术方案，所述冷却箱的顶部中侧表面设有温度仪。

作为优选的技术方案，所述真空管体的左侧设有密封法兰盖，所述密封法兰盖的表面设有呈环形分布的四个转动拉手，所述真空管体的右侧设有连接圈，所述连接圈的内部设有真空腔。

作为优选的技术方案，所述真空管体的底部设有支撑座，所述支撑座的底部设有安装座。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：该具有水冷结构的真空管道通过顶部内侧设有的冷却箱以及内壁环绕的水冷管道对真空管道内部进行有效冷却，且通过外部设有的保温罩与承压保护罩，有效的对管体进行保护，解决了现有的真空管道缺少冷却机构，使得管道在长期工作时得不到有效散热，容易产生危险，传统的水冷机构对管道进行冷却后，温度得不到有效保持，缺少防护设置，使得工作效率降低的问题。

附图说明

图1为本实用新型的整体结构示意图；

图2为本实用新型的整体右侧结构示意图；

图3为本实用新型中冷却组件的结构示意图；

图4为本实用新型中保护罩组件的结构示意图。