[实用新型]氢化物气相外延系统

权利要求书

1.一种氢化物气相外延系统，其特征在于包括：

气相外延生长单元，其包括反应室、源气体供给机构和第一密封机构，所述源气体供给机构与所述反应室连接，并至少用于向反应室内输送用于外延生长的源气体，其中，所述反应室具有第一开口，所述第一密封机构与所述反应室连接并能够打开关闭所述第一开口；

降温单元，其包括降温室和第二密封机构，所述降温室具有第二开口，所述第二密封机构与所述降温室连接并能够打开关闭所述第二开口；以及

连接机构，所述连接机构至少用于固定连接所述反应室和降温室，且当所述反应室和降温室连接时，所述第一开口和第二开口密封连接，并在所述反应室和降温室之间形成可供样品转移的通道。

2.根据权利要求1所述的氢化物气相外延系统，其特征在于：所述第一密封机构包括间隔设置在第一外密封机构和第一内密封机构，所述第一外密封机构和第一内密封机构之间具有缓冲空间，且所述第一外密封机构和第一内密封机构彼此独立设置。

3.根据权利要求2所述的氢化物气相外延系统，其特征在于：所述第一外密封机构设置在所述反应室的第一开口处，所述第一内密封机构设置在所述反应室内部。

4.根据权利要求1所述的氢化物气相外延系统，其特征在于：所述降温室具有多个第二开口和多个第二密封机构，每一第二密封机构与一第二开口相匹配。

5.根据权利要求4所述的氢化物气相外延系统，其特征在于：所述第二密封机构包括间隔设置在第二外密封机构和第二内密封机构，所述第二外密封机构和第二内密封机构之间具有缓冲空间，且所述第二外密封机构和第二内密封机构彼此独立设置；和/或，所述第二外密封机构设置在所述降温室的第二开口处，所述第二内密封机构设置在所述反应室内部。

6.根据权利要求1所述的氢化物气相外延系统，其特征在于还包括：可移动的样品台，其至少承载生长的样品，并且，所述样品台还与驱动机构传动连接，所述驱动机构用于驱使所述样品于所述反应室和降温室之间移动。

7.根据权利要求1所述的氢化物气相外延系统，其特征在于还包括：保护气体供给机构，所述保护气体供给机构与所述降温室连接，并至少用于向所述降温室内输送保护气体。

8.根据权利要求1所述的氢化物气相外延系统，其特征在于：所述降温室为单温区结构，且所述降温室内还设置有温度调节机构和温度监测机构。

9.根据权利要求1所述的氢化物气相外延系统，其特征在于包括：多个气相外延生长单元，一个所述降温室同时与多个反应室连接。

10.根据权利要求1或9所述的氢化物气相外延系统，其特征在于还包括：控制单元，所述控制单元与所述气相外延生长单元、降温单元连接。