[实用新型]新型石英舟有效
申请号: | 202121450876.8 | 申请日: | 2021-06-28 |
公开(公告)号: | CN214753675U | 公开(公告)日: | 2021-11-16 |
发明(设计)人: | 陈庆敏;李丙科;张海洋 | 申请(专利权)人: | 无锡松煜科技有限公司 |
主分类号: | H01L21/673 | 分类号: | H01L21/673;H01L31/18 |
代理公司: | 江苏漫修律师事务所 32291 | 代理人: | 熊启奎;周晓东 |
地址: | 214000 江苏省*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 新型 石英 | ||
本实用新型公开了一种新型石英舟,包括左侧板、右侧板和连接左侧板、右侧板的若干横杆,横杆包括一组上横杆和一组下横杆,左侧板和右侧板采用竖向设置,在左侧板和右侧板的外侧面上设有定位柱,在左侧板和右侧板之间的横杆采用与水平方向倾斜设置,上横杆与下横杆的相对表面上开设有连续的卡槽,横杆上的卡槽垂直于横杆的中心线。本实用新型制作工艺更加简单,节省成本,且结构稳定可靠,使用便捷,具有更好的工艺效果。
技术领域
本实用新型涉及太阳能电池制造设备领域,尤其是一种新型石英舟。
背景技术
太阳能光伏电池是一种把太阳的光能直接转化为电能的新型电池。目前通常使用的是以硅为基底的硅光伏电池,包括单晶硅、多晶硅和非晶硅光伏电池。太阳能光伏电池的制备过程中,硅片需要依次经过制绒、扩散、刻蚀、镀膜以及印刷等工序。在光伏电池的制备过程中,在工艺炉(比如扩散炉或者沉积炉)中需要有承载硅片的舟体,并由推拉舟托起承载硅片的舟体将硅片送入工艺炉内,石英舟是一种常用的载片工具。现有的石英舟对硅片支撑的柱在舟的两侧,适用于硅片平行于炉口截面方向放置,在相同口径条件下,这样放置硅片的数量较低,不能充分利用炉口空间。如果将硅片垂直于炉口截面方向,将硅片的支撑杆设置在硅片的上下两侧,可以放入更多的硅片,通常情况下还需要将硅片倾斜放置,以满足更优的工艺,而现有的石英舟采用的是支撑杆水平设置并在支撑杆上开倾斜的槽口,工艺复杂,加工成本高。
实用新型内容
本申请人针对上述现有石英舟存在的支撑杆水平设置并开倾斜槽口,工艺复杂,加工成本高等缺点,提供了一种结构合理的新型石英舟,利用倾斜设置的上下两排横杆,使横杆上的卡槽垂直于横杆的中心线,实现硅片垂直于炉口截面方向且倾斜放置在石英舟上,工艺简单,节省成本,且稳定可靠。
本实用新型所采用的技术方案如下:
一种新型石英舟,包括左侧板、右侧板和连接左侧板、右侧板的若干横杆,横杆包括一组上横杆和一组下横杆,左侧板和右侧板采用竖向设置,在左侧板和右侧板的外侧面上设有定位柱,在左侧板和右侧板之间的横杆采用与水平方向倾斜设置,上横杆与下横杆的相对表面上开设有连续的卡槽,横杆上的卡槽垂直于横杆的中心线。
作为上述技术方案的进一步改进:
横杆与水平方向的倾斜角度为θ,θ为2°~10°。
横杆与水平方向的倾斜角度为θ,θ为2°。
上横杆和下横杆上的卡槽相互对应且间距相同,分别卡住硅片的相对两边。
横杆的数量为四个,上下各两个。
四个横杆相互平行围成一个长方体,四个横杆分别位于长方体的四个棱上。
定位柱垂直于左侧板和右侧板横向设置。
定位柱在左侧板和右侧板上各两个。
所述新型石英舟通过左右定位柱放置在石英舟托上。
本实用新型的有益效果如下:
本实用新型所述新型石英舟在左侧板和右侧板之间的横杆采用与水平方向倾斜设置,上横杆与下横杆的相对表面上开设有连续的卡槽,横杆上的卡槽垂直于横杆的中心线,上横杆和下横杆上的卡槽相互对应且间距相同,分别卡住硅片的相对两边,石英舟制作工艺更加简单,节省成本,且结构稳定可靠,使用便捷。横杆与水平方向的倾斜角度为θ,θ为2°~10°,经多次试验验证,这个区间内的倾斜角度使硅片放置后更好的贴合在一起,满足硅片倾斜放置的工艺优化要求,具有更好的工艺效果。
附图说明
图1为本实用新型的立体图。
图2为本实用新型的主视图。
图中:1、左侧板;2、右侧板;3、上横杆;4、下横杆;5、定位柱;6、卡槽;θ、横杆与水平方向的倾斜角度。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造