[实用新型]一种阳极固定球管智能高真空排气设备有效
| 申请号： | 202121454514.6 | 申请日： | 2021-06-29 |
| 公开（公告）号： | CN215672603U | 公开（公告）日： | 2022-01-28 |
| 发明（设计）人： | 孙晖;戴莉;周箭;丁凯;余以智;宣少锋;张明;汤炜 | 申请（专利权）人： | 浙江大学;杭州凯龙医疗器械有限公司 |
| 主分类号： | F04B37/14 | 分类号： | F04B37/14;F04B41/06;F04D19/04 |
| 代理公司： | 杭州永绎专利代理事务所(普通合伙) 33317 | 代理人： | 阎忠华 |
| 地址： | 310063 浙江*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 阳极 固定 智能 真空 排气 设备 | ||
1.一种阳极固定球管智能高真空排气设备，包括机架（1）以及安装在机架（1）上的防护门组件（6）；其特征还包括安装在机架（1）上的安装阳极固定球管的真空装置（2）、与阳极固定球管电连的高压发生装置（3）以及控制真空装置（2）和高压发生装置（3）相连接的控制柜（4）。
2.根据权利要求1所述的一种阳极固定球管智能高真空排气设备，其特征在于：所述真空装置（2）包括安装在机架（1）上的真空腔体（201）、与真空腔体（201）相连接的分子泵（202）、直插式排管装置（5）以及与分子泵（202）通过管路连接的机械泵（203）。
3.根据权利要求2所述的一种阳极固定球管智能高真空排气设备，其特征在于：所述安装在机架（1）上真空腔体（201）上还连接有若干个工位阀（204）和电离规（205）；所述机械泵（203）上连接有前级阀（206）；所述机架（1）上还安装若干个风机（7）。
4.根据权利要求1所述的一种阳极固定球管智能高真空排气设备，其特征在于：所述防护门组件（6）包括安装在机架（1）上的电机（601）、丝杆（602）以及安装在丝杆（602）上的防护门（603）；所述电机（601）上安装有转动轴（604）；所述转动轴（604）与丝杆（602）之间通过齿轮相连接；所述机架（1）上还安装有挡门气缸（605）。
5.根据权利要求2所述的一种阳极固定球管智能高真空排气设备，其特征在于：所述插直插式排管装置（5）包括与真空腔体（201）相连接的若干个真空管（501）、安装在真空管（501）上的排管（502）以及安装在排管（502）上的通过电加热的直插式球管固定座（503）。
6.根据权利要求1所述的一种阳极固定球管智能高真空排气设备，其特征在于：所述高压发生装置（3）包括安装在机架（1）上的高压绝缘油箱（301）以及与高压绝缘油箱（301）相连接的高压发生器（302）；所述高压绝缘油箱（301）内还安装有若干个高压继电器（303）；所述高压继电器（303）与阳极固定球管电连。
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