[实用新型]一种适用于晶圆片倒角的自动进料定位装置

说明书

本实用新型涉及工装治具领域，公开了一种适用于晶圆片倒角的自动进料定位装置，包括：用于运输晶圆片的流水线、用于放置晶圆片的旋转组件、用于将流水线中的晶圆片推入旋转组件中的推料机构、以及用于限制晶圆片位置的定位组件。本实用新型通过流水线和推料机构将待加工的晶圆片自动输送到用于放置晶圆片的旋转组件中进行加工，并通过定位组件对其进行准确定位，员工可一次放置多个晶圆片于流水线上，然后只需将倒角完的晶圆片取出即可，一人可轻松操作多台设备，不仅能够避免因人工定位不准，产生的质量问题，而且减轻了员工的工作强度，提高了工作效率。

技术领域

本实用新型涉及工装治具领域，尤其是一种适用于晶圆片倒角的自动进料定位装置。

背景技术

使用再制造的晶圆料片进行制造加工成符合要求的晶圆片，需要对晶圆料片进行切割、研磨、倒角等加工工序。现市场上通常使用的晶圆片倒角设备，通过人工将待加工的晶圆片放置于用于放置晶圆片的支撑盘中，固定，进行倒角工序，等待倒角完后，再将加工完的晶圆片取出。在倒角过程中，员工处于等待闲置状态，导致工作效率低下；同时使用人工定位放置，不仅会出现定位不准，产生质量问题，而且还浪费人力，降低工作效率。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种适用于晶圆片倒角的自动进料定位装置，能够将待加工的晶圆片自动输送到用于放置晶圆片的旋转组件中进行加工，并进行准确定位，员工只需将倒角完的晶圆片取出即可，一人可轻松操作多台设备，不仅能够避免因人工定位不准，产生的质量问题，而且减轻了员工的工作强度，提高了工作效率。

为实现上述目的，本实用新型采用以下技术方案：

本实用新型公开了一种适用于晶圆片倒角的自动进料定位装置，其包括用于运输晶圆片的流水线、用于放置晶圆片的旋转组件、用于将流水线中的晶圆片推入旋转组件中的推料机构、以及用于限制晶圆片位置的定位组件；所述旋转组件设置于晶圆片倒角设备的平面坐标移动平台上；所述推料机构设置于流水线的侧边。所述定位装置包括用于限制晶圆片一侧位置的定位杆和用于限制晶圆片前端位置的触控开关；所述定位杆可调节位置地设置于流线型的终端上，定位杆上设置有用于检测晶圆片是否与定位杆接触的传感器；所述触控开关设置于旋转组件的正前方。

进一步地，所述定位杆上设有与晶圆片相配合的定位槽，所述定位槽上设置有用于减少摩擦力和保护晶圆片的光滑垫条。

进一步地，所述推料机构包括固定架、气缸和推块。所述气缸固定于固定架上，气缸的轴端与推块连接。

进一步地，所述推块上设置有与晶圆片相配合的推槽。所述推槽内设置有用于保护晶圆片的缓冲胶。

进一步地，所述固定架与流水线的架体连接。

进一步地，所述旋转组件包括旋转电机、真空发生器和支撑盘。所述支撑盘设置于真空发生器上端，支撑盘上设置有若干与真空发生器相匹配的气孔，所述真空发生器与旋转电机的轴端连接。所述旋转电机与晶圆片倒角设备的平面坐标移动平台连接。所述触控开关通过有线或无线与真空发生器连接，用于控制真空发生器的启停。

本实用新型的有益之处为：

1、本实用新型通过流水线和推料机构将待加工的晶圆片自动输送到用于放置晶圆片的旋转组件中进行加工，并通过定位组件对其进行准确定位，员工可一次放置多个晶圆片于流水线上，然后只需将倒角完的晶圆片取出即可，一人可轻松操作多台设备，不仅能够避免因人工定位不准，产生的质量问题，而且减轻了员工的工作强度，提高了工作效率。

2、本用新型中触控开关的设置，不仅起到对晶圆片前端限位的作用，而且还起到真空发生器开关的作用。当晶圆片推到与触控开关接触后，触控开关闭合，打开旋转组件的真空发生器将待加工的晶圆片牢牢吸附于支撑盘上，方便快捷。